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J-GLOBAL ID：201802265978010103   整理番号：18A0504666

Cu-Mo合金薄膜の作製における製膜パラメータの影響

著者 (3件)： 村山忠 (関東学院大 大学院工学研究科) ,  赤堀巧汰 (関東学院大 大学院工学研究科) ,  小岩一郎 (関東学院大)
資料名： 表面技術協会講演大会講演要旨集
巻： 137th  ページ： 69  発行年： 2018年03月02日 
JST資料番号： Y0050A  ISSN： 0917-2947  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *銅合金 ,  モリブデン含有合金 ,  金属薄膜 ,  *合金めっき ,  *電気めっき ,  プロセスパラメータ ,  めっき液 ,  加熱温度

分類 (1件)： 電気めっき  (WC08023B)

タイトルに関連する用語 (6件)： Cu ,  Mo ,  合金薄膜 ,  作製 ,  製膜 ,  パラメータ