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J-GLOBAL ID:201802266141648454   整理番号:18A1905069

プラズマ重合と大面積処理のための大気圧プラズマ源【JST・京大機械翻訳】

Atmospheric Pressure Plasma Sources for Plasma Polymerization and Large Area Treatment
著者 (6件):
資料名:
巻: 2017  号: ICOPS  ページ:発行年: 2017年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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乾式処理法として,プラズマ重合は,導電性高分子膜を広範囲の基板上に析出させるための重要な方法として認識されており,それは,ディスプレイおよびガスセンサ材料~1に適用可能である。それにもかかわらず,プラズマ源,特に大気圧プラズマジェット(APPJ)を用いて高品質導電性高分子膜を得るためには,低プラズマ密度の弱イオン化放電とプラズマ放電制御の困難さに基づいて,従来のAPPJの問題を克服することを目指すべきである。したがって,大面積処理のためにAPPJを用いる効果的なプラズマ重合のためのプラズマ密度を増加させることは重要である。著者らは最近,単結晶プラズマ重合ピロール(pppy)ナノ材料を種々の基板上に成長させることに成功したAPPJデバイスを用いた新しい合成法を報告した。しかしながら,プラズマ重合と大面積処理のためのプラズマの物理は,誘導されたガラス管サイズとアレイジェットを構成するジェットの数に関して系統的に研究されていない。本研究では,プラズマ放電挙動を数値的に調べ,大面積処理のためのAPP重合法により成長させたポリアニリン,-ピロール,-チオフェンのような高分子の特性を測定した。プラズマ物理の詳細な機構と合成した高分子の性質を研究し,詳細に議論した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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図形・画像処理一般 
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