文献

J-GLOBAL ID：201802266445711907   整理番号：18A0842230

レーザ線発生器用の二段FPCB走査マイクロミラー【JST・京大機械翻訳】

Double stage FPCB scanning micromirror for laser line generator

著者 (2件)： Zuo Hui (Ryerson University, Department of Mechanical and Industrial Engineering, 350 Victoria Street, Toronto M5B 2K3, Canada) ,  He Siyuan (Ryerson University, Department of Mechanical and Industrial Engineering, 350 Victoria Street, Toronto M5B 2K3, Canada)
資料名： Mechatronics  (Mechatronics)
巻： 51  ページ： 75-84  発行年： 2018年 
JST資料番号： W0098A  ISSN： 0957-4158  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,二重ステージフレキシブルプリント回路(DS-FPCB)を用いた静電走査マイクロミラーからなるレーザライン発生器を示した。それは,第1段階の回転電極を有する2つの段階と第2段階の鏡板から成る。回転軸に非常に近い回転電極と2つの段階の間の回転増幅効果により,DS-FPCBマイクロミラーは,以前に開発した単一ステージFPCBマイクロミラーと比較して90%高い最大回転角を有し,低コスト(数ドル)と高い表面品質(高平坦性,曲率半径(ROC)>10m,良好なナノメータ)を保持した。DS-FPCBマイクロミラーをモデル化し,プロトタイプを製作し試験し,117Hzで,100V(正弦波駆動信号)で3.25°の光回転,150V(矩形波駆動信号)で10.87°の光回転を達成した。DS-FPCBマイクロミラーに基づくレーザ線発生器を開発し試験した。そのレーザ出力密度は均一で,投影距離に依存しないが,従来のレーザ線発生器のレーザ出力密度はレーザ線に沿って変化し,投影距離に大きく依存する。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： フレキシブル基板 ,  回転角 ,  *走査 ,  レーザ出力 ,  回転電極 ,  正弦波 ,  平坦性 ,  回転軸 ,  *レーザビーム ,  表面性状 ,  モデリング ,  プロトタイプ
準シソーラス用語： 曲率半径 ,  *マイクロミラー ,  *再生器 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 二段FPCB走査マイクロミラー ,  大開口 ,  高平坦性 ,  良い表面粗さ ,  レーザ線発生器

分類 (2件)： その他の光学機器  (QF05060C) ,  サーボ機構  (IC03030Q)

タイトルに関連する用語 (4件)： レーザ線 ,  発生器 ,  走査 ,  マイクロミラー