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J-GLOBAL ID:201802267081408068   整理番号:18A0728890

界面結合効果を持つFD-SOI基板に基づく新しい光検出器【JST・京大機械翻訳】

Novel photodetector based on FD-SOI substrate with interface coupling effect
著者 (9件):
資料名:
巻: 2018  号: IWJT  ページ: 1-4  発行年: 2018年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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完全空乏化シリコンオンインシュレータ(FD-SOI)基板に基づく新しい半導体光検出器を実験的に提案し実証した。素子はFD-SOI MOSFETにおいて独自に見いだされた界面結合効果を利用し,その中で光発生電子が上部界面に蓄積し,底部界面における正孔電流を変調する。この素子の応答性は1×10~4A/W以上に達し,SOI基板に基づく他の光検出器とは異なり,上部シリコン層の厚さが減少すると増加した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【JST・京大機械翻訳】
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, 【Automatic Indexing@JST】
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トランジスタ 
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