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J-GLOBAL ID：201802267094480456   整理番号：18A1326052

フレキシブルナノインプリントプロセスによる中赤外二層金属ナノ格子の調製【JST・京大機械翻訳】

Fabrication of bilayer metallic nano gratings in mid-infrared region based on flexible nanoimprint lithography

著者 (4件)： Chu Jinkui (大連理工大学机械工程学院遼寧省微系統研究中心重点実験室,遼寧大連,116024) ,  Kang Weidong (大連理工大学机械工程学院遼寧省微系統研究中心重点実験室,遼寧大連,116024) ,  Ceng Xiangwei (大連理工大学机械工程学院遼寧省微系統研究中心重点実験室,遼寧大連,116024) ,  Zhang Ran (大連理工大学机械工程学院遼寧省微系統研究中心重点実験室,遼寧大連,116024)
資料名： Guangxue Jingmi Gongcheng  (Guangxue Jingmi Gongcheng)
巻： 25  号： 12  ページ： 3034-3040  発行年： 2017年 
JST資料番号： C2090A  ISSN： 1004-924X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 赤外金属格子をナノインプリントプロセスで製作するとき,ハードテンプレートインプリントは格子構造の欠陥をもたらし,格子性能を低下させる。本論文では,3-5μmの波長帯で動作し,高さ100nm,上下の金属層厚40nmの2層金属ナノ格子を,フレキシブルナノインプリントプロセスにより調製した。その格子構造パラメータは以下の通りであった。方法は,ホットナノインプリント技術を採用して,テンプレート格子構造をIPS(IntermediatePloymerSheet)材料に複製し,インプリントに必要なソフトテンプレートを作成した。その後、紫外線ナノインプリント技術により、IPSソフトテンプレートをSTU-7インプリントゲルにインプリントし、構造の完全均一誘電体格子を得た。作製した格子の測定結果は,2.55μmの波長域のTM偏光透過率が70%を超え,2.75μmのバンドの消光比が30dB以上であることを示した。この研究結果は,赤外線偏光検出,赤外線偏光センシングなどにおいて潜在的応用を持つ。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 構造パラメータ ,  格子構造 ,  消光比 ,  偏光 ,  層厚 ,  *赤外線
準シソーラス用語： 光透過率 ,  面内スイッチング ,  波長領域 ,  金属格子 ,  *ナノ格子 ,  *二層 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： nano grating ,  mid-infrared grating ,  metallic grating ,  flexible nanoimprint lithography ,  IPS(Intermediate PloymerSheet) ,  thermal evaporation

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  偏光測定と偏光計  (BD07050K) ,  光デバイス一般  (BD06010L)

タイトルに関連する用語 (2件)： ナノ格子 ,  調製