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J-GLOBAL ID：201802268060515472   整理番号：18A1112606

RF MEMSスイッチのための包括的接触材料選択法【JST・京大機械翻訳】

Comprehensive contact material selection approach for RF MEMS switch

著者 (3件)： Sawant Vishram B. (Mechanical Engineering Department, Government College of Engineering, Karad, Maharashtra, 415124, India) ,  Mohite Suhas S. (Mechanical Engineering Department, Government College of Engineering, Karad, Maharashtra, 415124, India) ,  Cheulkar Laukik N. (Mechanical Engineering Department, Rajiv Gandhi Institute of Technology,Versova, Andheri (W), Mumbai 400053, India)
資料名： Materials Today: Proceedings  (Materials Today: Proceedings)
巻： 5  号： 4 P3  ページ： 10704-10711  発行年： 2018年 
JST資料番号： W3531A  ISSN： 2214-7853  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： MEMS設計者に利用可能な材料の範囲により,RF MEMSスイッチ応用のための接触材料を選択するための論理的技術の必要性がある。本論文では,高信頼性スイッチによる低接触抵抗を達成できる接触材料の評価と選択について考察した。Ashbyチャートを用いたRF MEMSスイッチのための包括的な接触材料選択アプローチを,接触抵抗,残留応力,電圧,熱応力,品質因子,熱弾性減衰および材料の融点を考慮して開発した。この手順は,その製造プロセスフローによるRF MEMSスイッチのための有望な接触材料の同定とランク付けに焦点を合わせている。接触抵抗における15.6%の減少は,第二の最良材料,すなわち金と比較して報告されている。さらに,得られた結果を解析および実験結果と比較した。グラフェン,金およびロジウムは,トップランクの接触材料として出現した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： グラフェン ,  熱弾性 ,  融点 ,  接触抵抗 ,  *接点材料 ,  電圧 ,  熱応力 ,  等級づけ ,  残留応力 ,  金 ,  *スイッチ ,  ロジウム ,  *MEMS
準シソーラス用語： *材料選択 ,  *RF MEMS , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 高周波マイクロ電気機械システム(RF-MEMS) ,  スイッチ ,  接点材料 ,  Ashbyアプローチ

分類 (1件)： 継電器・スイッチ  (NA05060K)

タイトルに関連する用語 (4件)： RF ,  MEMSスイッチ ,  接触材料 ,  選択法