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J-GLOBAL ID：201802268105587649   整理番号：18A0517676

8時間光路差による一種の光干渉測定システム【Powered by NICT】

A kind of optical interference measuring system with 8 times optical path difference

著者 (4件)： Changde Hu (School of Non-commissioned Officer, the Academy of Equipment, Beijing. China) ,  Yongqiang Li (School of Non-commissioned Officer, the Academy of Equipment, Beijing. China) ,  Jianqiang Liu (School of Non-commissioned Officer, the Academy of Equipment, Beijing. China) ,  Zhiwei Xue (NO. 63713, Military, Shanxi Xinzhou, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： EIIS  ページ： 1-4  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノメートル精度を有する二次元測定システムを提案した。連立微分干渉法と呼ばれる新しい方法に基づいて,採用した,簡単で,安定でコンパクトな光学配置の性格,結合した微分干渉法による8時間光路差をもつ光学系。対称光路,増倍光路差,Abble原理を利用した。大規模微小運動定数制御可能な圧電モータは,駆動装置に使用される,より合理的で定常移動する制御系を利用した。高精度干渉信号処理システム,Heydemannモデルを用いて,三誤差(直交位相誤差,不均一,二信号の振幅と零オフセット)を補償した。変位が得られた。最後に全測定システムの精度を解析した。トータルシステムの計算精度は約±2.5nmであった。精度解析に基づいて,試験は,容量性マイクロメータと比較することで与えられ,10~12nmの測定精度を得た。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 微分 ,  *計測システム ,  *干渉測定 ,  制御系 ,  光学系 ,  オフセット ,  *干渉 ,  対称性 ,  測定精度 ,  二次元 ,  *光干渉
準シソーラス用語： 位相誤差 ,  高精度 ,  *光路 ,  *光路差 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 電動機  (NB07030U)

タイトルに関連する用語 (3件)： 光路差 ,  光干渉 ,  測定システム