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J-GLOBAL ID：201802268912641409   整理番号：18A1150977

ビーム成形と輸送の曲線軸を持つマルチビーム電子光学系【JST・京大機械翻訳】

Multibeam electron-optical systems with curvilinear axis of the beam forming and transportation

著者 (3件)： Paramonov Yury N. (JSC ”RPE ”Toriy”, Moscow, Russia, 117393) ,  Morev Sergey P. (JSC ”RPE ”Toriy”, Moscow, Russia, 117393) ,  Sablin Viktor M. (JSC ”RPE ”Toriy”, Moscow, Russia, 117393)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018  号： IVEC  ページ： 365-366  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,曲線電子ビームを形成するマルチビーム電子銃の計算結果を示した。電子ビームの回転は電子レンズの静電場により達成され,これはビームの軌跡に対する角度に位置する。異なる配置の磁場における電子ビーム輸送の計算結果も示した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 電子銃 ,  電子レンズ ,  静電場 ,  電子ビーム ,  *電子光学 ,  *ビーム成形 ,  軌跡 ,  磁場

分類 (2件)： 電子ビーム,イオンビーム  (BD02030F) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： ビーム成形 ,  輸送 ,  曲線 ,  マルチビーム ,  電子光学