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J-GLOBAL ID：201802269185063974   整理番号：18A2029290

41.7FF/UM2の画素内キャパシタとBEOL 3Dキャパシタプロセスにより可能になった高信頼性を持つ120dB広ダイナミックレンジ3.0μm画素イメージセンサ【JST・京大機械翻訳】

An over 120 dB wide-dynamic-range 3.0 μm pixel image sensor with in-pixel capacitor of 41.7 fF/um² and high reliability enabled by BEOL 3D capacitor process

著者 (7件)： Takase M. (Technology Innovation Division, Panasonic Corporation, Osaka, Japan) ,  Isono S. (Technology Innovation Division, Panasonic Corporation, Osaka, Japan) ,  Tomekawa Y. (Technology Innovation Division, Panasonic Corporation, Osaka, Japan) ,  Koyanagi T. (Technology Innovation Division, Panasonic Corporation, Osaka, Japan) ,  Tokuhara T. (Technology Innovation Division, Panasonic Corporation, Osaka, Japan) ,  Harada M. (Technology Innovation Division, Panasonic Corporation, Osaka, Japan) ,  Inoue Y. (Technology Innovation Division, Panasonic Corporation, Osaka, Japan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018  号： VLSI Technology  ページ： 71-72  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： BEOLに位置する新しい画素内3Dキャパシタを用いて,3.0μm画素をもつ同時捕獲広ダイナミックレンジイメージセンサを実現した。3D構造を適用し,誘電堆積プロセスを最適化することにより,1Vで,41.7fF/μm~2の高いキャパシタンス密度と3.6~10~10A/cm2の低い漏れ電流密度を達成した。TDDB研究は,125°Cでの推定破壊時間が10年以上であることを示した。このBEOL 3Dキャパシタプロセス技術により可能な,3.0μm画素の120dBダイナミックレンジイメージセンサを実証した。(キーワード:画像センサ,コンデンサ,3D,BEOL,高信頼性および広ダイナミックレンジ)。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *コンデンサ ,  静電容量 ,  捕獲 ,  *イメージセンサ ,  *三次元 ,  キーワード ,  *画素 ,  *ダイナミックレンジ ,  最適化
準シソーラス用語： 破壊時間 ,  TDDB ,  漏れ電流密度 ,  高信頼性 ,  BEOL , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (8件)： 画素 ,  キャパシタ ,  BEOL ,  3D ,  プロセス ,  高信頼性 ,  ダイナミックレンジ ,  イメージセンサ