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J-GLOBAL ID：201802269660892062   整理番号：18A1370400

見える化技術 全表面観察のための広視野レーザ顕微鏡の研究開発

著者 (2件)： 新田勇 (新潟大 工) ,  月山陽介 (新潟大 工)
資料名： 電気評論  (Electrical Review)
巻： 103  号： 7  ページ： 8-13  発行年： 2018年07月10日 
JST資料番号： G0720A  ISSN： 0285-5860  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・観測装置の視野と解像度の関係を示し,広視野レーザ顕微鏡の適用領域を明示。
・真実接触に及ぼす表面粗さとうねりなどの影響を捉えるのに,広視野レーザ顕微鏡が有効。
・広視野観察事例の事例として,床面と靴底のゴム接触の観察,金属ガスケットの接触面観察,カーボンペーパーの接触観察,及び広いウエハ表面のmmサイズのキズ検査,の4例について紹介。

シソーラス用語： *光学顕微鏡 ,  視野 ,  分解能 ,  *形状測定 ,  面積 ,  表面粗さ ,  表面性状 ,  靴 ,  接触 ,  ガスケット ,  塗工紙 ,  ウエハ【IC】 ,  靴底 ,  真実接触面積 ,  *表面計測 ,  表面うねり ,  カーボン紙
準シソーラス用語： うねり【表面】 ,  カーボンペーパー ,  *広視野レーザ顕微鏡

分類 (1件)： 光学顕微鏡,望遠鏡  (QF05050R)

タイトルに関連する用語 (7件)： 見える化 ,  全表面 ,  観察 ,  広視野 ,  レーザ顕微鏡 ,  研究 ,  開発