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J-GLOBAL ID：201802269772028329   整理番号：18A1463444

ミリメートル級の長ストローク駆動におけるナノメートルレベル位置決めを実現する超精密3軸XYZマイクロステージの開発

著者 (1件)： 清水裕樹 (東北大)
資料名： NSK-FAM研究助成・教育助成成果報告書  (NSKメカトロニクス技術高度化財団研究助成・教育助成成果報告書)
号： 28  ページ： 15  発行年： 2018年08月01日 
JST資料番号： L8248A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (6件)： ストローク ,  ナノメートルレベル ,  超精密 ,  3軸 ,  ステージ ,  開発