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J-GLOBAL ID:201802270333536885   整理番号:18A0186676

二重ベローズに基づく空気圧サーボ位置決めプラットフォームの複合制御【Powered by NICT】

Compound control of pneumatic servo positioning platform based on double bellows
著者 (3件):
資料名:
巻: 2017  号: CAC  ページ: 3103-3108  発行年: 2017年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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超精密と位置決めの大ストロークを実現するために,二重ベローズに基づく位置決めプラットフォームを設計した。プラットホームは金属ベローズの新しい型により直接駆動される,滑り摩擦を低減できる空気フロート案内軸受で導波され,支持された。また水銀シリーズ格子定規をリアルタイムで位置を検出した。一軸の駆動モデルを解析することにより,二次元位置決めプラットフォームの数学モデルを確立し,を採用したシステムモデルパラメータを同定するためのシステム同定。位置決め精度を改善するために,単一ニューロン適応状態フィードバック制御を設計した。実験は,制御方式は,良好な適合性を持ち,自己学習能力,システムの動的性能と静的性能が改善され,それは超精密位置決めの要求を満たし,プラットフォーム精度はサブミクロンレベルに達していることを示した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (1件):
分類
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工作機械要素,ジグ,チャック 
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
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