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J-GLOBAL ID:201802270521956566   整理番号:18A0079981

異なる構造の短チャネルトンネルFETのための両極性特性の比較研究【Powered by NICT】

Comparative study of ambipolar characteristics for short channel tunnel-FETs of different structure
著者 (3件):
資料名:
巻: 2017  号: TENCON  ページ: 1680-1684  発行年: 2017年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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本研究では,短チャネル二重層ホスホレン二重ゲートトンネルFETの両極性特性に関する包括的研究を提示した。両極性に及ぼす不均一ゲート誘電体(HGD),ゲートドレインアンダーラップ(GDU)などの構造修飾の影響も調べた。ドレイン領域近傍の低k酸化の長さは両デバイスのチャネル長の半分の場合,両極性,高いI_on/I_off比と低いSSの最大抑制が起こることを示した。しかし,GDU構造は同じ素子パラメータでHGD構造よりも良好なI_amb減少(20nmチャネル長の~6桁)を生じた。に加えて,チャネル長は,望ましくない高い値までIambを増加させずに両構造のための最小限界を超えてスケーリングすることが不可能である。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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