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J-GLOBAL ID：201802270617154527   整理番号：18A1739597

ナノマテリアルの固体希釈効果を,走査電子顕微鏡(SEM)によって分析した。【JST・京大機械翻訳】

Solid state dilution in composition analysis of nano-materials by STEM/EDS

著者 (3件)： Cai Zongqiang (北京大学 軟件与微電子学院,北京,100871) ,  Bao Zhongxing (宜特 (上海) 検測技術有限公司, 上海 201201;宜特科技股fen有限公司, 台湾 新竹 30072) ,  Jin Guangzu (北京大学 軟件与微電子学院,北京,100871)
資料名： Dianzi Yuanjian yu Cailiao  (Dianzi Yuanjian yu Cailiao)
巻： 37  号： 7  ページ： 88-92  発行年： 2018年 
JST資料番号： C2506A  ISSN： 1001-2028  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 目標物のサイズが5nmより小さい後、EDS成分の分析時に、サンプル中に散乱された電子ビームは隣接材料の通信番号を励起し、元の分析区域にある特定元素の測定の成分濃度は目標物の元の濃度よりはるかに低く、この現象は本研究では固体希釈と呼ばれる。本研究では、C2光圏で電子プローブのサイズと収束角度を変えて、ナノ構造素子の窒化インジウムガリウム多層量子井戸の異なる試片厚さにおけるインジウム(In)濃度の変化を分析し、固体希釈問題を検討した。STEM装置の操作パラメータの調整により、電子ビームの拡張効果を下げ、EDS線走査で測定したインジウム濃度は1倍程度向上できる。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *走査電子顕微鏡 ,  通信 ,  ナノ構造 ,  多層 ,  *走査 ,  量子井戸 ,  *ナノ材料 ,  *希釈 ,  電子ビーム ,  インジウム ,  電子プローブ
準シソーラス用語： 操作パラメータ ,  InGaN ,  希釈効果 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 塩基,金属酸化物  (CD01030Z)

タイトルに関連する用語 (6件)： ナノマテリアル ,  固体 ,  希釈効果 ,  走査電子顕微鏡 ,  SEM ,  分析