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J-GLOBAL ID：201802270741879797   整理番号：18A1354261

Daphnia magnaによる化学機械平坦化スラリー中の金属酸化物ナノ粒子の急性及び慢性毒性【JST・京大機械翻訳】

Acute and chronic toxicity of metal oxide nanoparticles in chemical mechanical planarization slurries with Daphnia magna

著者 (5件)： Karimi Sarah (Department of Chemistry and Biochemistry, The University of Texas at Dallas, Richardson, TX 75080-3021, USA. [e-mail]) ,  Troeung Meiline ,  Wang Ruhung ,  Draper Rockford ,  Pantano Paul
資料名： Environmental Science: Nano  (Environmental Science: Nano)
巻： 5  号： 7  ページ： 1670-1684  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2463A  ISSN： 2051-8161  CODEN： ESNNA4  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 半導体製造業は,化学機械平坦化(CMP)プロセスにおける研磨剤として,コロイド状シリカ(C-SiO_2),ヒュームドシリカ(f-SiO_2),セリア(CeO_2),およびアルミナ(Al_2O_3)を含む金属酸化物ナノ粒子(NPs)を使用する。市販のCMPスラリーに使用されるNPsの毒性を評価することは,これらの混合物が未定義の毒性成分を含む可能性があるため困難である。ここでは,既知の毒性添加物を含まない4つのモデルCMPスラリーの影響を評価するために淡水ノミDaphnia magna(D.magna)を用いた。急性毒性評価において,C-SiO_2スラリーはホルメシスストレス応答を示す体サイズの適度な増加を引き起こし,Al_2O_3スラリーは1.1mg・mL(-1)の計算96時間LC-50で毒性を示し,CeO_2とAl_2O_3スラリーは体サイズの有意な用量依存性減少を引き起こし,NP溶解はこれらの応答の原因ではなかった。慢性毒性評価において,C-SiO_2スラリーは,ホルモンストレス応答を示す生殖の適度な増加を引き起こし,Al_2O_3スラリーは,罹患率の適度な増加と体サイズの有意な減少をもたらし,CeO_2とAl_2O_3スラリーは,生殖出力の用量依存的減少を引き起こした。急性および慢性毒性結果は,異なるモデルCMPスラリーがD.magna罹患率,成長および生殖出力に対して明確で予測できない影響を及ぼすことを示した。特に重要なことは,CeO_2とAl_2O_3スラリーが,低用量での慢性曝露によるD.magna生殖を減少させたことである。これは,水生生態系に悪影響を及ぼす可能性がある。Copyright 2018 Royal Society of Chemistry All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 溶解 ,  アルミナ ,  *スラリー ,  酸化セリウム ,  生殖 ,  淡水 ,  研磨剤 ,  急性毒性 ,  *慢性毒性 ,  *Daphnia magna ,  *ナノ粒子 ,  *化学機械研磨
準シソーラス用語： *ミジンコ ,  用量依存性 ,  ホルメシス , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 動物に対する影響  (EE05040R) ,  金属及び金属化合物の毒性  (GZ02022V)

タイトルに関連する用語 (6件)： Daphnia ,  化学機械平坦化 ,  スラリー ,  金属酸化物 ,  ナノ粒子 ,  慢性毒性