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J-GLOBAL ID：201802271096005291   整理番号：18A1564696

レーザアシストナノインプリント下の樹脂流動の粒子法による数値解析

著者 (5件)： 清水瑛介 (東大) ,  長藤圭介 (東大) ,  中野比路 (東大) ,  矢島由基 (東大) ,  中尾政之 (東大)
資料名： 日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会年次大会(CD-ROM))
巻： 2017  ページ： ROMBUNNO.J0530105  発行年： 2017年09月02日 
JST資料番号： X0587C  ISSN： 2424-2667  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 当研究グループは熱ナノインプリントの応用として,レーザを用いたナノインプリント技術を提唱した。レーザアシストナノインプリント下における樹脂流動現象を解明するために,粒子法を用いた解析と実験を行った。実験では,レーザ照射時間を変化させて転写を行うことで,充填過程における樹脂の形状を観察した。解析結果と実験結果を比較すると,金型との接触部における樹脂の優先的な流動が実験と解析でともに観察された。これは,レーザの吸収条件が,熱流束境界でモデルできていることを示している。(著者抄録)

シソーラス用語： レーザ ,  助成 ,  パターン転写 ,  押付成形 ,  *プラスチック ,  *流動 ,  数値解法 ,  流動解析 ,  照射 ,  時間 ,  転写 ,  ポリメタクリル酸メチル
準シソーラス用語： *ナノインプリント ,  粒子法 ,  MPS法

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  その他の高分子材料  (YH07150C)

タイトルに関連する用語 (3件)： 樹脂流動 ,  粒子法 ,  数値解析