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J-GLOBAL ID：201802271553070247   整理番号：18A0018956

ハイブリッドdcMS/HPPMSにより堆積したナノ構造CrN/AlN多層被覆の塑性変形挙動【Powered by NICT】

Plastic deformation behavior of nanostructured CrN/AlN multilayer coatings deposited by hybrid dcMS/HPPMS

著者 (6件)： Bobzin K. (Surface Engineering Institute, RWTH Aachen University, Kackertstr. 15, 52072 Aachen, Germany) ,  Brogelmann T. (Surface Engineering Institute, RWTH Aachen University, Kackertstr. 15, 52072 Aachen, Germany) ,  Kruppe N.C. (Surface Engineering Institute, RWTH Aachen University, Kackertstr. 15, 52072 Aachen, Germany) ,  Arghavani M. (Surface Engineering Institute, RWTH Aachen University, Kackertstr. 15, 52072 Aachen, Germany) ,  Mayer J. (Central Facility for Electron Microscopy, RWTH Aachen University, Ahornstr. 55, 52074 Aachen, Germany) ,  Weirich T.E. (Central Facility for Electron Microscopy, RWTH Aachen University, Ahornstr. 55, 52074 Aachen, Germany)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 332  ページ： 253-261  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 物理気相堆積(PVD)は,トライボロジー用途に使用工具と部品に及ぼすクロム(Cr)をベースにした窒化物被覆のような硬質被覆系の堆積のための一般的に適用される技術である。このような応用では,工具と部品は複雑な荷重状況,被覆/基板化合物またはハード破壊応答とそれに続く亀裂形成の弾塑性変形をもたらすに供した。そのような荷重支持化合物の耐久性を高めるための1つの方法は,CrN/AlNナノ積層のようなナノ構造被覆の堆積,硬さ及びひびわれ抵抗の点で有望な特性を示す。このような多層膜の変形挙動の理解は,さらに被覆開発のための鍵となる因子。高分解能顕微鏡法と結合したナノ引かき解析の実施は,ナノ構造コーティングのトライボロジー挙動を研究し,垂直および横方向荷重下での塑性変形機構に関する情報を得るための方法である。得られた塑性変形の焼入焼戻420鋼基板と研究上に堆積したナノ積層被覆システムCrN/AlNのナノ引かき解析は現在の研究の対象である。本研究では,直流と高出力パルスマグネトロンスパッタリング(dcMS/HPPMS)から成る,ハイブリッド技術は,被覆蒸着のために使用した。CrN/AlNナノ積層はΛ≒13nmの二層周期(厚さCrN+AlN)で蒸着した。被覆の塑性変形を研究するために,Berkovichチップを適用して実施したナノスクラッチ分析。ナノ引かき荷重下の被覆システムの変形を,共焦点レーザ走査顕微鏡(CLSM)を用いて深さプロファイリングを用いて定量的に解析した。さらに,塑性変形と亀裂抵抗の包括的研究を走査電子顕微鏡(SEM)を用いて行った。SEM分析は,ナノ引かきトラックの表面と断面骨折について実施した。走査透過電子顕微鏡(STEM)は,ナノ引かきトラック下のマイクロスケール亀裂現象を調査するために適用した。高分解能透過型電子顕微鏡(HRTEM)は,調査したコーティングの塑性変形の機構を調べるために適用した。結果に基づいて,CrN/AlNナノ積層は,塑性変形と亀裂形成に対して有意な抵抗を示した。さらに,調査した被覆の塑性変形は結晶粒回転と粒界滑りにより説明される。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 顕微鏡観察 ,  結晶粒 ,  *塑性変形 ,  硬度 ,  多層膜 ,  *窒化アルミニウム ,  物理蒸着 ,  耐久性 ,  *ナノ構造 ,  亀裂 ,  トライボロジー ,  *被覆 ,  *塑性 ,  走査電子顕微鏡 ,  鋼

著者キーワード (6件)： HPPMS ,  HiPIMS ,  ナノ引かき ,  TEM ,  変形機構 ,  PVD

分類 (1件)： 金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 堆積 ,  ナノ構造 ,  AlN ,  多層被覆 ,  塑性 ,  変形挙動