抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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本論文は,U型電熱マイクロアクチュエータの振動解析のための解析モデルを提示した。U型電熱マイクロアクチュエータは,相互接続した複数の厚さと薄い梁セグメントから成る独特の幾何学的構造を有する。この提案したモデルでは,各梁セグメントの縦方向と横方向のたわみを組み込んだ。モデル化プロセスを容易にするために,薄い梁の変形と慣性力が厚い梁セグメントのそれを等価に記述するために用いることができるように,厚い梁を人工Young率と密度を用いて薄い梁セグメントによって置き換えた。隣接梁セグメント間の連結点における縦方向と横方向の両方における力とたわみの関係を連続条件で定式化した。次に,周波数方程式を,2つの境界と連続条件の両方に従って確立した。周波数方程式を解いて,U型ビームアクチュエータの固有振動数を得た。解析結果をANSYSソフトウェアを用いた有限要素シミュレーション結果と比較した。解析とシミュレーションデータの間に良好な一致が観察され,提案した振動解析モデルを検証した。このモデルは,動的システムモデリング,制御,および寸法最適化に本質的に重要なU型電熱アクチュエータの振動解析に関する最初の洞察研究を提供する。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【JST・京大機械翻訳】