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J-GLOBAL ID：201802272527839153   整理番号：18A0849663

イメージング分光法における多様性実現のための微細加工したステッパモータ上に集積した回折格子【JST・京大機械翻訳】

Diffraction grating integrated on micromachined stepper motor for diversity implementation in imaging spectroscopy

著者 (5件)： Muttikulangara Sanathanan S. (School of Mechanical and Aerospace Engineering, Nanyang Technological University, Singapore) ,  Baranski Maciej (School of Mechanical and Aerospace Engineering, Nanyang Technological University, Singapore) ,  Rehman Shakil (Singapore-MIT Alliance for Research and Technology (SMART), Singapore) ,  Hu Liangxing (School of Mechanical and Aerospace Engineering, Nanyang Technological University, Singapore) ,  Miao Jianmin (School of Mechanical and Aerospace Engineering, Nanyang Technological University, Singapore)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018  号： MEMS  ページ： 696-699  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,光伝達関数の多様性を得るために,非常に効率的な回折格子を集積したMEMS回転ステッピングモータのモノリシック製作について報告した。回転運動は三相静電駆動機構により達成される。これは,構造共振周波数に依存する古典的アクチュエーションのような古典的アクチュエーションにより達成することが困難な正確なステッピング運動を可能にする。マイクロモータ設計は,摩擦効果を回避し,最大角度ストロークを得るための屈曲機構に基づいている。回折格子は感光性材料であるSU-8上の複製法により別々に作製され,硬化すると硬くなる。最後に,複製回折格子をUV硬化性接着剤を用いてマイクロアクチュエータに接着した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 伝達関数 ,  *微細加工 ,  マイクロアクチュエータ ,  接着剤 ,  *ステッピングモータ ,  複製 ,  共振周波数 ,  MEMS ,  *回折格子 ,  マイクロモータ ,  感光材料
準シソーラス用語： 紫外線硬化 ,  SU-8 ,  静電駆動 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A)

タイトルに関連する用語 (6件)： イメージング分光法 ,  多様性 ,  微細加工 ,  ステッパモータ ,  集積 ,  回折格子