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J-GLOBAL ID：201802272797236731   整理番号：18A0442951

マイクロ流体システムのダイレベル3Dヘテロ集積【Powered by NICT】

Die level 3D heterogeneous integration of a microfluidic system

著者 (2件)： Krishna N.P. Vamsi (Centre for Nano Science and Engineering, Indian Institute of Science, Bangalore, India) ,  Sen Prosenjit (Centre for Nano Science and Engineering, Indian Institute of Science, Bangalore, India)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： EPTC  ページ： 1-3  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Lab-on-a-chip(LOC)素子を,化学分析と生物学的検出のための携帯型センシングシステムを可能にした。LOCデバイスの種々の成分の積層に基づく統合は,システムの小型化をもたらすであろうと与えられた体積でより機能性の調整を可能にするであろう。本論文では,3Dにおける積層と蛍光検出プラットホームとして機能する相互接続された全てのシリコン光検出器,光学プラスチックフィルタ,ガラスマイクロ流体デバイスとLEDを組み込んだ3次元集積不均一系を報告した。処理方法論と試験結果を報告した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *三次元 ,  不均一系 ,  携帯型 ,  相互接続 ,  光検出器 ,  小型化 ,  化学分析 ,  ガラス ,  ケイ素 ,  マイクロ流体デバイス
準シソーラス用語： 三次元集積化 ,  蛍光検出 ,  機能性 ,  センサシステム ,  *マイクロ流体システム , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 分析機器  (CC02020S) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  生物科学研究法一般  (EA03010K)

タイトルに関連する用語 (4件)： マイクロ流体システム ,  3D ,  テロ ,  集積