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J-GLOBAL ID：201802272901825833   整理番号：18A0844961

Pdナノ粒子とPd薄膜で修飾したNiO系センサのホルムアルデヒドセンシング特性【JST・京大機械翻訳】

Formaldehyde Sensing Characteristics of a NiO-Based Sensor Decorated With Pd Nanoparticles and a Pd Thin Film

著者 (7件)： Chen Huey-Ing (Department of Chemical Engineering, National Cheng-Kung University, Tainan, Taiwan, China) ,  Hsiao Cheng-Yu (Department of Electrical Engineering, Advanced Optoelectronic Technology Center, Institute of Microelectronics, National Cheng-Kung University, Tainan, Taiwan, China) ,  Chen Wei-Cheng (Department of Electrical Engineering, Advanced Optoelectronic Technology Center, Institute of Microelectronics, National Cheng-Kung University, Tainan, Taiwan, China) ,  Chang Ching-Hong (Department of Electrical Engineering, Advanced Optoelectronic Technology Center, Institute of Microelectronics, National Cheng-Kung University, Tainan, Taiwan, China) ,  Liu I-Ping (Department of Chemical Engineering, National Cheng-Kung University, Tainan, Taiwan, China) ,  Chou Tzu-Chieh (Department of Electrical Engineering, Advanced Optoelectronic Technology Center, Institute of Microelectronics, National Cheng-Kung University, Tainan, Taiwan, China) ,  Liu Wen-Chau (Department of Electrical Engineering, Advanced Optoelectronic Technology Center, Institute of Microelectronics, National Cheng-Kung University, Tainan, Taiwan, China)
資料名： IEEE Transactions on Electron Devices  (IEEE Transactions on Electron Devices)
巻： 65  号： 5  ページ： 1956-1961  発行年： 2018年 
JST資料番号： C0222A  ISSN： 0018-9383  CODEN： IETDAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ドロップコーティングとRFスパッタリング法の両方で調製したPdナノ粒子(NP)/Pd膜/NiO膜構造を,ホルムアルデヒドガスセンサを作製するために報告した。元のNiO層と比較して,Pd NPsとPd薄膜の使用は,触媒能力と関連するセンシング性能を強化することを示した。実験的に,10.1の高いセンシング応答が250°Cで20ppmのHCHO/空気ガスを導入した下で得られた。さらに,16ppbのHCHO/空気の非常に低い検出レベルが得られた。最適運転温度は250°Cである。Pd NPsの不均一分布または凝集効果により,比較的遅いセンシング速度が見出された。優れた性能に基づいて,低コスト,容易な製造,および化学的安定性を含むより早い利点を示し,研究したデバイスはホルムアルデヒドセンシング応用に有望である。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 膜構造 ,  *薄膜 ,  *ナノ粒子 ,  *パラジウム ,  *センサ ,  RFスパッタリング
準シソーラス用語： 化学的安定性 ,  不均一分布 ,  最適運転 ,  触媒特性 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： トランジスタ  (NC03070N)

タイトルに関連する用語 (6件)： Pd ,  ナノ粒子 ,  薄膜 ,  修飾 ,  ホルムアルデヒド ,  センシング