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J-GLOBAL ID：201802273200022240   整理番号：18A0863037

配向性ScAlN薄膜装荷LiNbO₃上での縦型リーキーSAWの理論解析

Theoretical Analysis of Longitudinal-type Leaky Surface Acoustic Wave on LiNbO₃ with Oriented ScAlN Film

著者 (3件)： SUZUKI Masashi (Univ. of Yamanashi) ,  GOMI Masashi (Univ. of Yamanashi) ,  KAKIO Shoji (Univ. of Yamanashi)
資料名： 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム(CD-ROM)  (超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集(CD-ROM))
巻： 38th  ページ： ROMBUNNO.1P3-2  発行年： 2017年10月25日 
JST資料番号： L1419B  ISSN： 2189-9606  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： ニオブ酸リチウム ,  窒化アルミニウム ,  結合係数 ,  *光学素子 ,  *弾性表面波素子
準シソーラス用語： AlN ,  LiNbO₃ ,  *音響光学デバイス ,  *弾性表面波デバイス ,  電気機械結合係数

分類 (2件)： 弾性表面波デバイス  (NC03120T) ,  音響光学効果  (BM08030W)

タイトルに関連する用語 (5件)： 配向性 ,  薄膜 ,  縦型 ,  SAW ,  理論解析