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J-GLOBAL ID：201802273227375837   整理番号：18A0710359

部分的深さエッチングによる多モードシリコン導波路における広帯域相互光ダイオードの設計【JST・京大機械翻訳】

Design of a broadband reciprocal optical diode in multimode silicon waveguide by partial depth etching

著者 (5件)： Zhu Danfeng (State Key Laboratory of Information Photonics and Optical Communications, Beijing University of Posts and Telecommunications, Beijing 100876, China) ,  Zhang Jinqiannan (State Key Laboratory of Information Photonics and Optical Communications, Beijing University of Posts and Telecommunications, Beijing 100876, China) ,  Ye Han (State Key Laboratory of Information Photonics and Optical Communications, Beijing University of Posts and Telecommunications, Beijing 100876, China) ,  Yu Zhongyuan (State Key Laboratory of Information Photonics and Optical Communications, Beijing University of Posts and Telecommunications, Beijing 100876, China) ,  Liu Yumin (State Key Laboratory of Information Photonics and Optical Communications, Beijing University of Posts and Telecommunications, Beijing 100876, China)
資料名： Optics Communications  (Optics Communications)
巻： 418  ページ： 88-92  発行年： 2018年 
JST資料番号： A0678B  ISSN： 0030-4018  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコン-オン-絶縁体プラットフォーム上の多モードシリコン導波路における非対称空間モード変換に基づく相互光学ダイオードの設計を提案した。この設計は広い帯域幅,高いコントラスト比および高い製造許容性を有している。機能領域における部分的深さエッチングにより,偶数モードの前方偶奇モード変換と後方ブロッケードを達成した。三次元有限差分時間領域法によるシミュレーションにより,前方透過効率は約-2.05dBで,後方透過効率は-22.68dBで,1550nmの波長で0.983の最高コントラスト比に達した。動作帯域幅は最大200nm(1450nmから1650nmまで)で,コントラスト比は0.911以上であった。数値解析により,提案した光学ダイオードは,作製に導入される可能性のある形状パラメータ誤差に対して高い許容性を有することを実証した。部分的深さエッチングに基づく設計はCMOSプロセスと互換性があり,シリコンベースの全光回路に寄与することが期待される。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *フォトダイオード ,  *導波路 ,  数値解析 ,  光回路 ,  非対称性 ,  三次元 ,  *エッチング ,  モード変換 ,  *多モード ,  有限差分時間領域法 ,  *広帯域 ,  *ケイ素 ,  波長 ,  忍容性
準シソーラス用語： 許容性 ,  コントラスト比 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： モード変換 ,  非対称伝搬 ,  部分的深さエッチング ,  シリコン導波路

分類 (1件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

タイトルに関連する用語 (7件)： エッチング ,  多モード ,  シリコン ,  導波路 ,  広帯域 ,  光ダイオード ,  設計