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J-GLOBAL ID：201802273416223277   整理番号：18A0780858

Talbot干渉格子投影による3次元計測用LEDマルチラインバンドルファイバ光源の試作

Prototype of Multi-Line Bundle Fibers with LED Light Sources for 3D Shape Measurement Using Talbot Fringe Projection

著者 (4件)： 坂野琢弥 (福井大学大学院工学研究科知能システム工学専攻) ,  林拓実 (元和歌山大学システム工学研究科) ,  藤垣元治 (福井大学学術研究院工学系部門知能システム工学講座) ,  村田頼信 (和歌山大学システム工学部)
資料名： 実験力学  (JSEM)
巻： 18  号： 1  ページ： 43-49(J-STAGE)  発行年： 2018年 
JST資料番号： L4590A  ISSN： 1346-4930  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 非接触法による精密3D形状測定システムが産業の分野における電子部品の高品質検査で求められている。本論文においては,3D形状測定用にLED光源を有する多重ラインファイバアレイのプロトタイプを作製している。これまでの研究において,著者らは超光輝ダイオード(SLD)を用いたTalbotフリンジ投影を有する測定システムを開発した。しかしながら,SLDにおけるコヒーレント性によるスペックルノイズの発生は投影されたフリンジパターンのノイスを増大させる要因である。グレーティングイメージの解析による形状測定の方法において,スペックルノイズは結果に大きな影響を与える。グレーティングピッチよりも十分に狭い幅の光源がTalbotフリンジパターンを発生させるのに必要である。従って,著者らはLED光源を有する多重ライン繊維束を開発した。スペックルノイズを低減させるための実効性を実験結果として評価した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *三次元測定 ,  光ファイバ ,  発光ダイオード ,  光源 ,  雑音 ,  *干渉計 ,  位相格子
準シソーラス用語： Talbot効果 ,  スペックルノイズ ,  位相グレーティング

著者キーワード (10件)： 多線束ファイバ ,  光源 ,  3D形状測定 ,  Talbot効果 ,  小さなオブジェクト ,  多線束ファイバ ,  光源 ,  3D形状測定 ,  Talbot効果 ,  小さなオブジェクト

分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  干渉測定と干渉計  (BD07070G)

引用文献 (16件)：

• 1) Ishihara, M. and Sasaki, H.: High speed 3-D shape measurement using a non-scanning multiple-beam confocal imaging sensor (in Japanese), J. JSPE, 64-7 (1998), 1022-1028.
• 2) Takeda, M.: Subfringe Interferometry fundamentals (in Japanese), Japanese Journal of Optics, 13-1 (1984), 55-65.
• 3) Bruning, J.H., Herriott, D.R., Gallagher, J.E., Rosenfeld, D.P., White, A.D., and Brangaccio, D.J.: Digital wavefront measuring interferometer for testing optical surfaces and lenses, Applied Optics, 13-11 (1974), 2693-2703.
• 4) Fujigaki, M. and Morimoto, Y.: Shape measurement with grating projection using whole-space tabulation method (in Japanese), J. JSEM, 8-4 (2008), 402-408.
• 5) Misaka, T., Murakami, M., Hikita, T. and Fujigaki, M.: Development of 100% appearance inspection sensor and applying to measurement of microscopic bumps of semiconductor component, Proc. of 9th ISEM '14-New Delhi, (2014), #074(CD-ROM).

タイトルに関連する用語 (5件)： 干渉 ,  格子投影 ,  3次元計測 ,  LED ,  試作