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J-GLOBAL ID：201802273473110166   整理番号：18A1299998

次世代レーザ加工のための数値シミュレーション レーザ誘起ナノ周期構造の形成機構を解明するための電磁粒子コードシミュレーション

著者 (1件)： 坂上仁志 (自然科学研究機構 核融合科研)
資料名： レーザ加工学会誌  (Journal of Japan Laser Processing Society)
巻： 25  号： 2  ページ： 68-74  発行年： 2018年06月 
JST資料番号： L3905A  ISSN： 1881-6797  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： フェムト秒レーザーを固体表面に照射することにより自己組織的に生成されるナノ周期構造の形成機構を2次元電磁粒子コードを用いたシミュレーションにより解明することを試みた。その結果,レーザー強度が相対論的である場合,Weibel不安定性による磁場と電子電流の構造が,重要な役割を果たすことを明らかにした。また,レーザー強度が非相対論的である場合は,表面プラズマ波の定在波によって生成された微小な擾乱が,振動型二流体不安定性によって成長し,ナノ周期構造が形成されることを明らかにした。(著者抄録)

シソーラス用語： *フェムト秒レーザ ,  *ナノ構造 ,  *周期構造 ,  *レーザ加工 ,  自己組織化 ,  数学モデル ,  *数値解析 ,  計算機シミュレーション ,  相対論 ,  ミクロ不安定性 ,  磁場 ,  プラズマ波 ,  非相対論 ,  定在波 ,  擾乱 ,  振動二流体不安定性
準シソーラス用語： レーザ誘起 ,  *形成機構 ,  電子流 ,  粒子モデル

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  数値計算  (JE02000J) ,  レーザの応用  (BD04100V)

引用文献 (12件)：

• Hashida, M., Semerok, A., Govert, O., Petite, G., Izawa, Y. and Wagner, J. F-.: Ablation threshold dependence on pulse duration for copper, Appl. Surf. Sci., 197-198, (2002), 862.
• Hashida, M., Fujita, M., Tsukamoto, M., Semerok, A., Govert, O., Petite, G., Izawa, Y. and Wagner, J. F-.: Femtosecond laser ablation of metals: precise measurement and analytical model for crater profiles, Proc. of SPIE, 4830, (2003), 452.
• 橋田昌樹,宮坂泰,清水雅弘,坂上仁志,井上峻介,阪部周二: フェムト秒レーザアブレーションにより固体表面に自己組織的に形成するナノ周期構造,レーザ研究,43,(2016),745.
• 坂上仁志,岸本泰明,千徳靖彦,田口俊弘:粒子コードによるレーザプラズマ相互作用シミュレーションの発展,J.Plasma Fusion Res.,81,(2005),64.
• Pronko, P. P., Dutta, S.K., Du, D. and Singh, R. K.: Thermophysical effects in laser processing of materials with picosecond and femtosecond pulses, J. Appl. Phys., 78, (1995), 6233.

タイトルに関連する用語 (6件)： 次世代 ,  レーザ加工 ,  数値シミュレーション ,  レーザ誘起 ,  周期構造 ,  シミュレーション