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J-GLOBAL ID：201802273811461342   整理番号：18A0929510

3D印刷AFMプローブの設計と実現【JST・京大機械翻訳】

Design and Realization of 3D Printed AFM Probes

著者 (8件)： Alsharif Nourin (Department of Mechanical Engineering, Boston University, 110 Cummington Mall, Boston, MA, 02215, USA) ,  Burkatovsky Anna (Department of Mechanical Engineering, Boston University, 110 Cummington Mall, Boston, MA, 02215, USA) ,  Lissandrello Charles (Department of Mechanical Engineering, Boston University, 110 Cummington Mall, Boston, MA, 02215, USA) ,  Jones Keith M. (Oxford Instruments Asylum Research, Inc., 6310 Hollister Avenue, Santa Barbara, CA, 93117, USA) ,  White Alice E. (Department of Mechanical Engineering, Boston University, 110 Cummington Mall, Boston, MA, 02215, USA) ,  White Alice E. (Physics Department and Division of Materials Science and Engineering, 590 Commonwealth Avenue, Boston, MA, 02215, USA) ,  Brown Keith A. (Department of Mechanical Engineering, Boston University, 110 Cummington Mall, Boston, MA, 02215, USA) ,  Brown Keith A. (Physics Department and Division of Materials Science and Engineering, 590 Commonwealth Avenue, Boston, MA, 02215, USA)
資料名： Small  (Small)
巻： 14  号： 19  ページ： e1800162  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2348A  ISSN： 1613-6810  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 原子間力顕微鏡(AFM)プローブと拡張によるAFMイメージングは,例外的に微細化されたシリコンマイクロマシニングの製品であるが,これらの製造技術の限界によって制限される。ここでは,AFM用のモノリシック片持ちプローブをプリントする方法として,ナノスケール添加物製造技術の直接レーザ書込みを調べた。AFMに対して効果的に機能することが分かった3D印刷プローブだけでなく,類似のシリコンプローブよりも約10倍大きい帯域幅をもつ断続的接触モードで画像化する能力を最も顕著に示した。さらに,3D印刷によって得られた任意の構造制御は,プローブのモード構造のプログラミングを可能にし,非線形チップ-サンプル相互作用を共鳴的に増幅することに役立つ可能性があることが分かった。まとめると,これらの結果は,3D印刷プローブが従来のシリコンマイクロマシニングを用いて作製されたものを補完し,新しいイメージング技術に扉を開くことを示した。Copyright 2018 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *プローブ ,  共鳴 ,  帯域幅 ,  相互作用 ,  画像処理 ,  原子間力顕微鏡 ,  添加剤 ,  画像技術 ,  精密化 ,  レーザ ,  生産技術
準シソーラス用語： 構造制御 ,  画像化 ,  ナノスケール ,  *三次元印刷 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 添加剤製造 ,  原子間力顕微鏡 ,  直接レーザ描画 ,  二光子重合

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 3D印刷 ,  AFM ,  プローブ ,  設計