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J-GLOBAL ID：201802274051133635   整理番号：18A1303285

酸化亜鉛ベースのヘテロ構造の高周波C-V特性の研究とモデリング【JST・京大機械翻訳】

Investigating and modeling high frequency C-V characteristics of zinc oxide-based heterostructures

著者 (7件)： Semenov A. R. (Department of micro-and nanoelectronics, Ryazan State Radioengineering University, Ryazan, Russian Federation) ,  Litvinov V. G. (Department of micro-and nanoelectronics, Ryazan State Radioengineering University, Ryazan, Russian Federation) ,  Kholomina T. A. (Department of micro-and nanoelectronics, Ryazan State Radioengineering University, Ryazan, Russian Federation) ,  Ermachikhin A. V (Department of micro-and nanoelectronics, Ryazan State Radioengineering University, Ryazan, Russian Federation) ,  Rybina N. V. (Department of micro-and nanoelectronics, Ryazan State Radioengineering University, Ryazan, Russian Federation) ,  Gromov D. G. (Institute of Advanced Materials and Technologies, Department of Marketing and Project Management, National Research University of Electronic Technology, (MIET), Zelenograd, Russian Federation) ,  Oleinik S. P. (Institute of Advanced Materials and Technologies, Department of Marketing and Project Management, National Research University of Electronic Technology, (MIET), Zelenograd, Russian Federation)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018  号： MECO  ページ： 1-4  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ZnOベースのヘテロ構造のC-V特性をモデル化した。構造特性に及ぼすアニーリング技術と接触材料の影響を研究した。構造上の印加電圧に対するシリコン中の表面ポテンシャルの経験的依存性を導出した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *モデリング ,  接点材料 ,  ケイ素 ,  *HF【周波数】 ,  焼なまし ,  *酸化亜鉛 ,  構造特性 ,  表面電位
準シソーラス用語： 印加電圧 ,  *ヘテロ構造 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  半導体-金属接触  (BM03084G)

タイトルに関連する用語 (5件)： 酸化亜鉛 ,  ヘテロ構造 ,  高周波 ,  研究 ,  モデリング