文献

J-GLOBAL ID：201802274546033682   整理番号：18A0312941

超酸分子を用いた無機デバイス材料表面の溶液パッシベーション法の開拓

Solution-based Molecular Passivation for Inorganic Electronic Materials

著者 (1件)： 桐谷乃輔 (大阪府大)
資料名： 村田学術振興財団年報  (Annual Report of the Murata Science Foundation)
号： 31 12月  ページ： 268-275  発行年： 2017年12月 
JST資料番号： L5491A  ISSN： 0919-3383  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・電子・正孔に対する高い移動度を有するゲルマニウムの表面不動態化(パッシベーション)に関して検討。
・超酸分子を用いて,ゲルマニウム表面に形成される自然酸化膜の分子処理による除去を検討。
・水溶性のGeO₂は表面の不安定化,自然膜の形成や溶解などの複雑なプロセスを起こすことから,水を用いず,1,2-ジクロロエタンあるいはアセトニトリルを溶媒として用いる処理を検討。

シソーラス用語： *無機材料 ,  *不動態化 ,  *ゲルマニウム ,  酸化ゲルマニウム ,  酸化膜 ,  X線光電子分光法 ,  電子顕微鏡観察 ,  Ramanスペクトル ,  脂肪族塩素化合物 ,  脂肪族ニトリル
準シソーラス用語： XPS法 ,  *パッシベーション ,  二酸化ゲルマニウム ,  走査型電子顕微鏡法 ,  *表面不動態化

分類 (1件)： 試料技術  (BA02070O)

物質索引 (2件)： 1,2-ジクロロエタン ,  アセトニトリル

引用文献 (4件)：

• IBM THINK Blog (https://www.ibm.com/blogs/think/2017/06/5-nanometer-transistors/)
• International Roadmap for Devices and Systems, More Moore White paper (2016 edition).
• D. Bodlaki, H. Yamamoto, D. H. Waldeck, E. Borguet, Surf. Sci. 543, 63 (2003).
• S. Rivillon, Y. J. Chabal, Appl. Phys. Lett. 87, 253101 (2005).

タイトルに関連する用語 (6件)： 超酸 ,  分子 ,  デバイス材料 ,  溶液 ,  パッシベーション ,  開拓