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J-GLOBAL ID：201802274656916994   整理番号：18A0537337

二酸化チタン(TiO_2)に基づくpHセンサ性能に及ぼすスピンコーティング法を用いた回転速度変動の影響【Powered by NICT】

Effect of rotational speed variation with spin coating method on pH sensor performance based on Titanium Dioxide (TiO₂)

著者 (3件)： Maulana Eka (Department of Electrical Engineering, Brawijaya University, Jl. Veteran Malang 65145) ,  Dewi Novvy Nurdiana (Department of Electrical Engineering, Brawijaya University, Jl. Veteran Malang 65145) ,  Setyawati Onny (Department of Electrical Engineering, Brawijaya University, Jl. Veteran Malang 65145)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： SIET  ページ： 442-447  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： pHセンサ応用のためのスピンコーティング法を用いてアルミナ基板上にTiO_2:AgClの厚い層堆積を行った。この設計のpHセンサの一部は電極と検出面積,電極材料はAgClで検出領域におけるセンシング材料はTiO_2である。AgClペーストとTiO2ペーストは均一なペーストとなったまでの磁気撹拌機による混合するAgCl粉末とTiO2粉末との混合結合剤溶液(PVA)により作製した。AgCl材料は300rpm,500rpm,700rpm,1000rpmおよび1500rpmの種々の回転速度スピンコーティングでアルミナ基板に堆積した。TiO2材料は回転速度スピンコーティング300rpmでアルミナ基板に堆積した。センサ出力電圧の結果は,異なる回転速度スピンコーティングはセンサ出力電圧に影響することを示した。センサ再現性結果は,センサがある条件で再現することを示した。これは用いた材料はセンサは再利用可能なセンサのための無効にすることを証明した。1000rpmと1500rpmセンサの感度結果,最適感度は 41.07mV/pHと1000rpmセンサであることを示した。誤差解析の計算では,pHセンサは1500rpm,0.5484%で不確実性を持つことを示した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 粉体 ,  撹拌機 ,  *スピンコーティング ,  電極材料 ,  誤差解析 ,  *センサ ,  不確実性 ,  ペースト ,  再現性 ,  磁気 ,  電圧 ,  *回転数 ,  *pHセンサ
準シソーラス用語： アルミナ基板 ,  *二酸化チタン , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 塩基,金属酸化物  (CD01030Z)

タイトルに関連する用語 (4件)： 二酸化チタン ,  pHセンサ ,  スピンコーティング法 ,  回転速度