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J-GLOBAL ID：201802275718156553   整理番号：18A0846376

厳しい環境のための光学圧力センサ【JST・京大機械翻訳】

Optical pressure sensors for harsh environment

著者 (4件)： Somer Jakub (Department of Microelectronics, Faculty of Electrical Engineering, Brno University of Technology Brno, Brno, Czech Republic) ,  Urban Frantisek (Department of Microelectronics, Faculty of Electrical Engineering, Brno University of Technology Brno, Brno, Czech Republic) ,  Szendiuch Ivan (Department of Microelectronics, Faculty of Electrical Engineering, Brno University of Technology Brno, Brno, Czech Republic) ,  Urban Frantisek (Network Group, Brno, Czech Republic)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： EMPC  ページ： 1-5  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文は,低温Co焼成セラミック技術を用いて製造した新しい光学圧力センサの設計,製造,および評価を扱う。この光学センサは過酷な動作条件での応用のために設計されている。このセンサは300°Cまでの温度に耐えなければならず,化学的に攻撃的な環境で動作する。これらの操作条件を満たすために,低温Co焼成セラミックをセンサ本体に選択した。この材料はプロセスが容易で,プロトタイプ製造に使用するのが容易である。もう一つの重要な因子はセンサの電磁感受率であり,高レベルの電磁干渉による応用における電子圧力センサの使用を制限する。したがって,光学センシング法をセンサ設計に用いた。本論文では,圧力センサ検査に適した光学的測定法に関連する利点と問題点を簡単に概観した。光学スペクトル変化に基づく測定法を最良のセンサ性能のために選択した。本論文で示した圧力変換器は,Pe’腐敗光共振器から反射された光スペクトルの調査に基づいている。センサ本体の低温Co焼成セラミック構造におけるセラミックダイヤフラムの内部表面上に,Fabry Peの腐敗光共振器を形成した。共振器の空洞は光ファイバの平坦端とダイヤフラム上の反射鏡層の間にある。ファイバー光学センサのサンプルを参照圧力ゲージを用いて較正し,センサの動作特性を測定した。種々の圧力範囲でセンサを設計し,試料を製作し,測定し,試験した。温度補償と測定精度を強化するための選択した光学的方法を検討した。圧力センサの測定と評価のために特定の検査装置を用いた。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 光学的測定 ,  試験装置 ,  光ファイバ ,  温度補償 ,  電磁干渉 ,  光ファイバセンサ ,  測定精度 ,  反射鏡 ,  ダイヤフラム ,  *センサ ,  *圧力センサ ,  プロトタイプ ,  光共振器 ,  圧力変換器 ,  低温

分類 (3件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H) ,  その他の光伝送素子  (BD06040S) ,  力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 環境 ,  光学 ,  圧力センサ