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J-GLOBAL ID:201802276605842283   整理番号:18A2030036

ほう化物と窒化物の薄膜の仕事関数と化学組成の研究【JST・京大機械翻訳】

Investigation of work function and chemical composition of thin films of borides and nitrides
著者 (7件):
資料名:
巻: 50  号: 11  ページ: 1138-1144  発行年: 2018年 
JST資料番号: E0709A  ISSN: 0142-2421  CODEN: SIANDQ  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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種々のホウ化物,窒化物,およびフッ化バリウムの薄膜を,固体状態による高温熱から電気への変換のための熱電子-光起電力素子の構成要素を開発するために,パルスレーザ蒸着とマグネトロンスパッタリングによって暫定的に蒸着した。デバイス性能を改善するために,低仕事関数で特性化した材料を選択した。本研究では,得られた膜の化学組成と仕事関数をX線光電子分光法と紫外光電子分光法により調べた。仕事関数の値をHe I価電子帯スペクトルのカットオフから決定した。異なる膜を比較し,X線光電子分光法と紫外光電子分光法の結果に基づいて評価した。Copyright 2018 Wiley Publishing Japan K.K. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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電子分光スペクトル 

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