文献

J-GLOBAL ID：201802276834223983   整理番号：18A1255134

シリコンナノワイヤーに基づく高速応答と低ヒステリシスのフレキシブル圧力センサ【JST・京大機械翻訳】

Fast-Response and Low-Hysteresis Flexible Pressure Sensor Based on Silicon Nanowires

著者 (10件)： Cheng Wen (Collaborative Innovation Center of Advanced Microstructures, School of Electronic Science and Engineering, Nanjing University, Nanjing, China) ,  Yu Linwei (Collaborative Innovation Center of Advanced Microstructures, School of Electronic Science and Engineering, Nanjing University, Nanjing, China) ,  Kong Desheng (College of Engineering and Applied Sciences, Nanjing University, Nanjing, China) ,  Yu Zhongwei (Collaborative Innovation Center of Advanced Microstructures, School of Electronic Science and Engineering, Nanjing University, Nanjing, China) ,  Wang Huiting (Collaborative Innovation Center of Advanced Microstructures, School of Electronic Science and Engineering, Nanjing University, Nanjing, China) ,  Ma Zhong (Collaborative Innovation Center of Advanced Microstructures, School of Electronic Science and Engineering, Nanjing University, Nanjing, China) ,  Wang Yunmu (Collaborative Innovation Center of Advanced Microstructures, School of Electronic Science and Engineering, Nanjing University, Nanjing, China) ,  Wang Junzhuan (Collaborative Innovation Center of Advanced Microstructures, School of Electronic Science and Engineering, Nanjing University, Nanjing, China) ,  Pan Lijia (Collaborative Innovation Center of Advanced Microstructures, School of Electronic Science and Engineering, Nanjing University, Nanjing, China) ,  Shi Yi (Collaborative Innovation Center of Advanced Microstructures, School of Electronic Science and Engineering, Nanjing University, Nanjing, China)
資料名： IEEE Electron Device Letters  (IEEE Electron Device Letters)
巻： 39  号： 7  ページ： 1069-1072  発行年： 2018年 
JST資料番号： B0344B  ISSN： 0741-3106  CODEN： EDLEDZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 柔軟な圧力センサは触覚機能を持つ電子皮膚のcor石である。しかし,柔軟な圧力センサは,柔軟材料の粘弾性と界面接着によって主に引き起こされる遅い応答速度と大きなヒステリシスの欠点を持つ傾向がある。このレターでは,SiNWsが圧力下で曲げられるとき,圧電容量を持つ圧力センサを作製するために,シリコンナノワイヤ(SiNW)アレイを採用した。これは,一般的な柔軟材料に伴う粘弾性と界面接着を避けた。センサは前例のない低ヒステリシス(~2.26%)と極めて短い応答時間(~3ms)を記録した。高感度(最大~8.2kPa(-1)),大きな応答容量,超低検出限界(0.1Pa),良好な再現性と安定性により,センサは,特に高精度で高速なセンシングが必要な場合に,先進電子皮膚における潜在的応用を保持する。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 圧電気 ,  触覚 ,  応答時間 ,  *センサ ,  検出限界 ,  高感度 ,  粘弾性 ,  *圧力センサ ,  再現性 ,  *高速度 ,  *ヒステリシス
準シソーラス用語： 界面接着 ,  電子皮膚 ,  *高速応答 ,  *シリコンナノワイヤ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  トランジスタ  (NC03070N)

タイトルに関連する用語 (4件)： シリコンナノワイヤー ,  高速応答 ,  ヒステリシス ,  圧力センサ