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J-GLOBAL ID：201802276902699715   整理番号：18A1941192

マイクロRaman分光法を用いたマイクロピラーウィックにおける薄膜蒸発のキャラクタリゼーション【JST・京大機械翻訳】

Characterization of thin film evaporation in micropillar wicks using micro-Raman spectroscopy

著者 (7件)： Zhang Lenan (Device Research Laboratory, Department of Mechanical Engineering, Massachusetts Institute of Technology, 77 Massachusetts Avenue, Cambridge, Massachusetts 02139, USA) ,  Zhu Yangying (Device Research Laboratory, Department of Mechanical Engineering, Massachusetts Institute of Technology, 77 Massachusetts Avenue, Cambridge, Massachusetts 02139, USA) ,  Lu Zhengmao (Device Research Laboratory, Department of Mechanical Engineering, Massachusetts Institute of Technology, 77 Massachusetts Avenue, Cambridge, Massachusetts 02139, USA) ,  Zhao Lin (Device Research Laboratory, Department of Mechanical Engineering, Massachusetts Institute of Technology, 77 Massachusetts Avenue, Cambridge, Massachusetts 02139, USA) ,  Bagnall Kevin R. (Device Research Laboratory, Department of Mechanical Engineering, Massachusetts Institute of Technology, 77 Massachusetts Avenue, Cambridge, Massachusetts 02139, USA) ,  Rao Sameer R. (Device Research Laboratory, Department of Mechanical Engineering, Massachusetts Institute of Technology, 77 Massachusetts Avenue, Cambridge, Massachusetts 02139, USA) ,  Wang Evelyn N. (Device Research Laboratory, Department of Mechanical Engineering, Massachusetts Institute of Technology, 77 Massachusetts Avenue, Cambridge, Massachusetts 02139, USA)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 113  号： 16  ページ： 163701-163701-5  発行年： 2018年 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 微細構造化表面上の薄膜蒸発は高熱流束熱管理のための有望な戦略である。しかし,基本的な理解を強化し,数ミクロンの厚さの液膜を横切る全体的な熱伝達性能を最適化するためには,詳細な熱的特性化が必要である。熱電対や抵抗温度検出器などの赤外温度測定や接触モード温度センサを用いた既存の特性化技術は,低空間分解能や温度感度の制限により三相接触線近傍の薄膜の温度を正確に測定できない。本研究では,1.5μmの空間分解能と0.5°C以内の温度感度を持つカスタムマイクロRaman分光プラットフォームを用いた非接触,その場温度測定法を開発した。この方法を用いて,作製したシリコンマイクロピラーアレイからの薄膜蒸発を特性化した。局所的な薄膜温度を正確に測定し,異なる熱流束における構造化表面上の全体的な温度分布をマップすることができることを示した。マイクロピラーアレイ形状の影響を調べ,液体の温度上昇が薄膜面積の増加分率によりマイクロピラーピッチの減少と共に減少することを示した。本研究は,微細構造化表面上の相変化熱伝達を定量化するためのマイクロRamanによる有望な方法を提供した。この特性化技術は,種々の相変化に基づく熱管理装置に対する機械的理解とウイック構造最適化を著しく助けることができる。Copyright 2018 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *薄膜 ,  液膜 ,  空間分解能 ,  *ウィック ,  *キャラクタリゼーション ,  *蒸発 ,  温度分布 ,  熱伝達 ,  熱電対 ,  熱流束 ,  微細構造 ,  構造形成 ,  熱管理 ,  温度測定
準シソーラス用語： *マイクロピラー , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (4件)： マイクロRaman分光法 ,  薄膜 ,  蒸発 ,  キャラクタリゼーション