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J-GLOBAL ID：201802276921669784   整理番号：18A2137698

半導体製造装置用マイクロ波電源装置の開発

Development of Microwave Power Supply for Semiconductor Equipment

著者 (1件)： 日野究 (四変テック(株)電子機器本部技術開発部)
資料名： 電気設備学会誌  (Journal of the Institute of Electrical Installation Engineers of Japan)
巻： 38  号： 11  ページ： 647-650(J-STAGE)  発行年： 2018年 
JST資料番号： G0947B  ISSN： 0910-0350  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・近年の半導体の微細加工における課題解決のため,RF電源出力でのパルス化は実現。
・新プラズマ源として注目されるマイクロ波電源でのパルス化というニーズがあり,このたび,半導体製造装置メーカーからの要求に応えたマイクロ波電源装置を開発したので,その概要を紹介。
・半導体製造装置用マイクロ波電源装置は,高電圧電源部・発振器部・自動整合器部の三つのユニットで構成しており,それぞれについて紹介。
・半導体製造装置用電源としての信頼性を確保,向上させるために,「マグネトロン管内放電対策(出力短絡保護)」,「パルス動作時フィラメント電圧の最適化」,「高絶縁性能の確保」の対策,改善を実施。

シソーラス用語： *半導体プロセス ,  *微細加工 ,  製造 ,  *マイクロ波 ,  *電源装置 ,  *プラズマ源 ,  *マグネトロン ,  *ドライエッチング ,  高電圧 ,  信頼性 ,  パルス化
準シソーラス用語： マイクロ波プラズマ

著者キーワード (5件)： 半導体製造装置 ,  マイクロ波 ,  マグネトロン ,  プラズマ ,  ドライエッチング

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  電源回路  (NC05060Q)

タイトルに関連する用語 (4件)： 半導体製造装置 ,  マイクロ波 ,  電源装置 ,  開発