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J-GLOBAL ID：201802277105333877   整理番号：18A0211682

Sb:SnO2透明導電薄膜の光電気特性に及ぼす熱処理の影響【JST・京大機械翻訳】

Effect of Heat Treatment on the Optical and Electrical Properties of Sb:SnO2 Transparent Conduction Films

著者 (4件)： Liang Fei (武漢理工大学硅酸塩建筑材料国家重点実験室,武漢,430070) ,  Zhao Xiujian (武漢理工大学硅酸塩建筑材料国家重点実験室,武漢,430070) ,  Ni Jiamiao (武漢理工大学硅酸塩建筑材料国家重点実験室,武漢 430070;湖北第二師范学院建筑与材料工程学院,武漢 430205) ,  Zheng Mindong (武漢理工大学硅酸塩建筑材料国家重点実験室,武漢,430070)
資料名： Guisuanyan Tongbao  (Guisuanyan Tongbao)
巻： 36  号： 9  ページ： 2951-2957  発行年： 2017年 
JST資料番号： C2439A  ISSN： 1001-1625  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 5Sb2O595SnO2(mol%)セラミックターゲットを焼結法によって調製し,RFマグネトロンスパッタリング法によって石英ガラス基板上に高品質のSbを得た。SnO2(ATO)透明導電性薄膜を,ATO膜の構造と光学的性質に及ぼす熱処理温度の影響を研究するために研究した。結果は以下を示した。熱処理はATO薄膜の相構造、結晶品質及び性能に対して一定の影響がある。温度が高くなるにつれて,膜の結晶サイズは徐々に増加し,一方,シート抵抗は徐々に減少し,最小値は9.3Ω/□であった。赤外反射率は最初増加し,次に減少し,600°Cで最大値に達し,89%に達したことが示されたことが示されたことが示されたことが示されたことが示された。膜の可視光透過率は80%以上で,温度は600°Cで91.3%に達した。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 光学的性質 ,  石英ガラス ,  結晶 ,  *熱処理 ,  *アンチモン ,  シート抵抗 ,  *薄膜 ,  *電気特性 ,  焼結
準シソーラス用語： 赤外反射 ,  結晶品質 ,  相構造 ,  熱処理温度 ,  高品質 ,  RFマグネトロンスパッタリング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： Sb:SnO2 ,  magnetron sputtering ,  infrared reflection ,  heat treatment

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (4件)： Sb ,  透明導電薄膜 ,  電気特性 ,  熱処理