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J-GLOBAL ID:201802277365620137   整理番号:18A1615410

直接熱ナノインプリンティングに用いる酸化ジルコニウムゲルの熱可塑性特性の起源【JST・京大機械翻訳】

Origin of the thermal plasticity property of zirconium oxide gels for use in direct thermal nanoimprinting
著者 (11件):
資料名:
巻: 44  号: 15  ページ: 17602-17611  発行年: 2018年 
JST資料番号: H0705A  ISSN: 0272-8842  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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溶液から誘導されたいくつかのタイプの酸化物ゲルは熱可塑性特性を示す。以前の報告では,熱可塑性特性を利用して酸化物パターンと薄膜トランジスタを作製した。しかし,いくつかの酸化物ゲルが熱可塑性特性を示す理由は明確ではなかった。本報告では,プラスチックZrO_2ゲルだけでなく,非プラスチックZrO_2ゲルを調製し,これらのゲルの構造的および熱的性質を調べ,いくつかのゲルが熱可塑性特性を示す理由を明らかにした。有機配位子によって配位されたZr-O-Zrコアを有するZrO_2ゲル中のクラスタ化構造を同定した。この構造は熱可塑性特性に強く関係していた。ZrO_2ゲルの熱可塑性特性は,加熱による余分な配位子の脱着と酸化から生じた。塑性変形ゲルはクラスタから成り,配位子の挙動はゲル塑性変形を起こすトリガーであることを決定した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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セラミック・陶磁器の製造 
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