文献

J-GLOBAL ID：201802277467977926   整理番号：18A0839943

Si中の[110]及び[111]方向に沿った4.8~6.8MeV Cイオンの阻止能【JST・京大機械翻訳】

Stopping power for 4.8-6.8 MeV C ions along [1 1 0] and [1 1 1] directions in Si

著者 (6件)： Yoneda Tomoaki (Department of Electrical and Electronic Engineering, National Institute of Technology, Fukui College, Sabae, Fukui-ken 916-8507, Japan) ,  Horikawa Junsei (Department of Electrical and Electronic Engineering, National Institute of Technology, Fukui College, Sabae, Fukui-ken 916-8507, Japan) ,  Saijo Satoshi (Department of Electrical and Electronic Engineering, National Institute of Technology, Fukui College, Sabae, Fukui-ken 916-8507, Japan) ,  Arakawa Masakazu (Department of Electrical and Electronic Engineering, National Institute of Technology, Fukui College, Sabae, Fukui-ken 916-8507, Japan) ,  Yamamoto Yukio (Department of Electrical and Electronic Engineering, National Institute of Technology, Fukui College, Sabae, Fukui-ken 916-8507, Japan) ,  Yamamoto Yasukazu (SR-Center, Ritsumeikan University, Kusatsu, Shiga-ken 525-8577, Japan)
資料名： Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms  (Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 425  ページ： 1-3  発行年： 2018年 
JST資料番号： H0899A  ISSN： 0168-583X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Si(100)/SiO_2/Si(100)のSIMOX(ケイ素による分離)構造において,4.8~6.8MeVの範囲のエネルギーをもつCイオンの阻止能を調べた。後方散乱スペクトルを[110]と[111]軸に沿ったランダムおよびチャネリング入射に対して測定した。散乱角を90°に設定し,運動因子の過剰な減少を避けた。ランダム阻止能に対する[110]および[111]チャネリングの比は,それぞれ4.8~6.8MeVイオンに対して約0.65および0.77であると決定された。GrandeおよびSchiwietzのCasP(高速粒子に対するコンボリューション近似)コードを用いて計算した衝撃パラメータ依存阻止能の妥当性を確認した。結晶シリコンのCイオン軌跡とフラックス分布をモンテカルロシミュレーションにより計算した。CasPコードで計算した阻止能は測定精度内で実験結果とほぼ一致した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： チャネリング ,  SIMOX ,  軌跡 ,  測定精度 ,  高速度 ,  衝撃 ,  *ケイ素 ,  *阻止能 ,  *イオン ,  畳込み ,  近似法 ,  モンテカルロシミュレーション ,  散乱角 ,  散乱スペクトル

著者キーワード (5件)： 阻止能 ,  simox ,  チャネリング ,  CASP ,  モンテカルロ法

分類 (1件)： チャネリング,ブロッキング,粒子のエネルギー損失  (BK16100J)

タイトルに関連する用語 (3件)： Si ,  イオン ,  阻止能