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J-GLOBAL ID：201802277826623958   整理番号：18A0683486

エネルギーろ過マグネトロンスパッタリング技術による積層TiO2薄膜の光触媒性能を調製した。【JST・京大機械翻訳】

Photocatalytic Properties of Double-layer TiO2 Coatings Deposited by Energy Filtering Magnetron Sputtering Technique

著者 (5件)： Xia Yu (鄭州大学物理工程学院 河南鄭州450052) ,  Wu Dan (鄭州大学物理工程学院 河南鄭州450052) ,  Zhao Zunjie (鄭州大学物理工程学院 河南鄭州450052) ,  Yao Ning (鄭州大学物理工程学院 河南鄭州450052) ,  Pan Zhifeng (鄭州大学物理工程学院 河南鄭州450052)
資料名： Zhengzhou Daxue Xuebao (Lixue Ban)  (Zhengzhou Daxue Xuebao (Lixue Ban))
巻： 49  号： 4  ページ： 61-65  発行年： 2017年 
JST資料番号： C3255A  ISSN： 1671-6841  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 積層TiO2薄膜は薄膜の比表面積を向上させることができ、薄膜の光触媒効率を向上させることができる。単一層および積層TiO2薄膜を,DCマグネトロンスパッタリング(DMS)およびエネルギー濾過(RF)マグネトロンスパッタリング(EFMS)技術によって,それぞれ調製した。膜の構造,モルフォロジー,光学的性質および光触媒特性を,X線回折,走査電子顕微鏡,エリプソメトリー,およびUV-Vis分光光度計によって特性評価した。結果は以下を示した。単層TiO2薄膜と比べ、TiO2薄膜の結晶粒度はより小さく、表面はより平滑で、光学バンドギャップは増大し、紫外線照射2.5h後、RhB溶液の光触媒分解率は41.2%で、単層TiO2薄膜の2.4倍であった。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *光触媒 ,  単一層 ,  偏光解析法 ,  結晶粒度 ,  光学ギャップ ,  光学的性質 ,  *触媒活性 ,  紫外線照射 ,  *薄膜 ,  モルフォロジー ,  X線回折 ,  走査電子顕微鏡 ,  *マグネトロンスパッタリング
準シソーラス用語： 光触媒分解 ,  紫外可視分光光度計 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： EFMS ,  DMS ,  photo-catalysis ,  TiO2 thin films

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (7件)： エネルギー ,  ろ過 ,  マグネトロンスパッタリング ,  TiO2 ,  薄膜 ,  触媒性能 ,  調製