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J-GLOBAL ID：201802277979194115   整理番号：18A0725250

ナノカットのための圧電駆動三軸コンプライアント機構の最適設計【JST・京大機械翻訳】

Optimum Design of a Piezo-Actuated Triaxial Compliant Mechanism for Nanocutting

著者 (5件)： Zhu Zhiwei (School of Mechanical Engineering, Nanjing University of Science and Technology, Nanjing, China) ,  To Suet (State Key Laboratory of Ultra-Precision Machining Technology, Department of Industrial and Systems Engineering, The Hong Kong Polytechnic University, Hong Kong SAR) ,  Zhu Wu-Le (Department of Micro Engineering, Kyoto University, Kyoto, Japan) ,  Li Yangmin (Department of Industrial and Systems Engineering, The Hong Kong Polytechnic University, Hong Kong SAR) ,  Huang Peng (College of Mechatronics and Control Engineering, Shenzhen University, Shenzhen, China)
資料名： IEEE Transactions on Industrial Electronics  (IEEE Transactions on Industrial Electronics)
巻： 65  号： 8  ページ： 6362-6371  発行年： 2018年 
JST資料番号： C0234A  ISSN： 0278-0046  CODEN： ITIED6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノ切削のための分離された特徴を持つ三軸並進運動を得るために,新しい圧電作動準拠アント機構を開発した。動作性能の解析モデリングとそれに続くパレートに基づく多目的最適化を,機構の次元を決定するために行った。設計した機構に関する有限要素解析は,開発したモデルの精度を検証し,従って,最適設計プロセスの有効性を実証した。プロトタイプに関する開ループ試験は,推定されたように,低い結合と高い固有振動数を有する適切なストロークが得られることを示した。閉ループ試験における低い追跡誤差は,開発された機構が複雑なナノ構造を形成するために望ましい軌跡に正確に従うことができることを示唆する。最後に,閉ループベースのナノ彫刻を行い,ナノ切削に対する開発した三軸運動システムの有効性を実証した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 切削 ,  並進 ,  *圧電気 ,  開ループ系 ,  軌跡 ,  固有振動数 ,  ナノ構造 ,  モデリング ,  *最適設計 ,  プロトタイプ
準シソーラス用語： 有限要素解析 ,  多目的最適化 ,  *コンプライアントメカニズム ,  *三軸 ,  *圧電駆動 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： フィルタ一般  (NC04021I) ,  エネルギー貯蔵  (LC02000F) ,  電力変換器  (NB08030B)

タイトルに関連する用語 (3件)： 圧電駆動 ,  コンプライアント機構 ,  最適設計