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J-GLOBAL ID：201802278637220286   整理番号：18A0215905

新しい共平面マイクロガスセンサマイクロプレートの最適設計【JST・京大機械翻訳】

Design and Optimization of New Coplanar Micro Gas Sensor

著者 (4件)： Guan Xiulong (超硬材料国家重点実験室,吉林大学物理学院,吉林長春 130012) ,  Liu Li (超硬材料国家重点実験室,吉林大学物理学院,吉林長春 130012) ,  He Yue (超硬材料国家重点実験室,吉林大学物理学院,吉林長春 130012) ,  Wang Lianyuan (超硬材料国家重点実験室,吉林大学物理学院,吉林長春 130012)
資料名： Yibiao Jishu yu Chuanganqi  (Yibiao Jishu yu Chuanganqi)
号： 9  ページ： 17-19,23  発行年： 2017年 
JST資料番号： C2449A  ISSN： 1002-1841  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 金属白金の良好な熱抵抗、熱抵抗特性、及びSiO2の良好な断熱、絶縁性能を利用し、白金を加熱電極とし、SiO2を絶縁材料とする新型の共平面微細構造ガスセンサを設計した。このセンサを高い温度と均一な温度分布を得るために,有限要素ソフトウェアANSYSを用いて,センサの電極と基底をシミュレーションし,センサの基底と電極パラメータを最適化した。シミュレーション結果は以下を示す。センサの基底形状は方形構造であり,基板の前SiO2層,中間層Si層,後SiO2層の厚さは順に1,199,100μmであり,加熱電極の幅と間隔は20μm,信号電極幅は40μmである。センサの最適温度分布を得ることができ,磁場分布も良好であり,センサの全体的性能の改善に役立つ。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *センサ ,  絶縁材料 ,  微細構造 ,  最適化 ,  二酸化ケイ素 ,  *最適設計 ,  温度分布 ,  *ガスセンサ ,  シミュレーション ,  白金 ,  熱抵抗 ,  基底 ,  絶縁体
準シソーラス用語： 磁場分布 ,  中間層 ,  ANSYS , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： micro gas sensor ,  ANSYS ,  micro heater ,  temperature distribution

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  ガラスの製造  (YC02020O)

タイトルに関連する用語 (1件)： 最適設計