抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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近年,地球環境問題やエネルギー問題,さらには製品の価格競争などを踏まえると,クリーンルームにおいては,ローコスト化・省エネルギー化が必須となっている。このような状況のもと,クリーンルームの形態としては全体の清浄度を下げ,高清浄度を必要とするエリアを局所クリーン化する方式が多くなってきている。従来の局所クリーン化用のクリーンブースは,ビニルカーテン等により区画化されており,出入り時の作業効率を低下させていた。そこで,エアカーテンを利用しビニルカーテン等の壁を無くした新型クリーンブース「T-Clean Air Wall」を開発した。本報では,その新型クリーンブースの特徴と実大実験結果について報告する。(著者抄録)