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J-GLOBAL ID：201802280299021709   整理番号：18A0942149

4方向エアギャップワイヤグリッドと2.5μm画素を持つ3.2-MP背面照射偏光イメージセンサ【JST・京大機械翻訳】

3.2-MP Back-Illuminated Polarization Image Sensor With Four-Directional Air-Gap Wire Grid and 2.5- $¥mu$ m Pixels

著者 (16件)： Maruyama Yasushi (Sony Semiconductor Solutions Corporation, Atsugi, Japan) ,  Terada Takashi (Sony Semiconductor Manufacturing Corporation, Kikuyo, Japan) ,  Yamazaki Tomohiro (Sony Semiconductor Manufacturing Corporation, Kikuyo, Japan) ,  Uesaka Yusuke (Sony Semiconductor Solutions Corporation, Atsugi, Japan) ,  Nakamura Motoaki (Sony Semiconductor Solutions Corporation, Atsugi, Japan) ,  Matoba Yoshihisa (Sony Semiconductor Solutions Corporation, Atsugi, Japan) ,  Komori Kenta (Sony Semiconductor Manufacturing Corporation, Kikuyo, Japan) ,  Ohba Yoshiyuki (Sony Semiconductor Manufacturing Corporation, Kikuyo, Japan) ,  Arakawa Shinichi (Sony Semiconductor Solutions Corporation, Atsugi, Japan) ,  Hirasawa Yasutaka (Sony Corporation, Tokyo, Japan) ,  Kondo Yuhi (Sony Corporation, Tokyo, Japan) ,  Murayama Jun (Sony Corporation, Tokyo, Japan) ,  Akiyama Kentaro (Sony Semiconductor Solutions Corporation, Atsugi, Japan) ,  Oike Yusuke (Sony Semiconductor Solutions Corporation, Atsugi, Japan) ,  Sato Shuzo (Sony Semiconductor Solutions Corporation, Atsugi, Japan) ,  Ezaki Takayuki (Sony Semiconductor Solutions Corporation, Atsugi, Japan)
資料名： IEEE Transactions on Electron Devices  (IEEE Transactions on Electron Devices)
巻： 65  号： 6  ページ： 2544-2551  発行年： 2018年 
JST資料番号： C0222A  ISSN： 0018-9383  CODEN： IETDAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： エアギャップワイヤグリッド偏光子を有する3.2-MP四方向偏光画像センサを記述した。ウエハプロセスを用いて画像センサを作製し,光フラアリングとゴースト問題を最小化するために背面照明と反射防止層を組み込んだ。試験において,このセンサは63.3%の偏光透過率と550nmにおける85の消光比を達成し,それによって従来の偏光センサを凌駕した。提案したセンサは2.5μmの小さな偏光画素でも良好な斜め入射特性を示した。これらの結果に基づいて,提案した画像センサは,表面反射の低減,非常に正確な深さマッピング,および条件ロバスト監視のような様々なメガピクセル融合イメージング応用に適している。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *画素 ,  ロバスト性 ,  *センサ ,  *偏光 ,  照明 ,  消光比 ,  *イメージセンサ ,  ゴースト ,  透過率 ,  画像処理
準シソーラス用語： 表面反射 ,  斜め入射 ,  反射防止 ,  ワイヤグリッド偏光子 ,  *エアギャップ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 撮像・録画装置  (ND12032E)

タイトルに関連する用語 (6件)： 4方向 ,  画素 ,  MP ,  背面 ,  偏光 ,  イメージセンサ