Challanges for scanning electron microscopy and inspection on the nanometer scale for non-IC application-and how to tackle them using computational techniques

BOLTEN Jens; ARAT Kerim T.; UENAL Nezih; PORSCHATIS Caroline; WAHLBRINK Thorsten; LEMME Max C.; LEMME Max C.

文献

J-GLOBAL ID：201802280388044034 整理番号：18A0253245

Challanges for scanning electron microscopy and inspection on the nanometer scale for non-IC application-and how to tackle them using computational techniques

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資料名：
巻： 10446 ページ： 104460G.1-104460G.6 発行年： 2017年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別：会議録 (C)
発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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