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J-GLOBAL ID:201802280432554783   整理番号:18A0446790

3nmに向けてのSRAM設計とデバイス協調最適化のための積層ナノシートフォークアーキテクチャ【Powered by NICT】

Stacked nanosheet fork architecture for SRAM design and device co-optimization toward 3nm
著者 (15件):
資料名:
巻: 2017  号: IEDM  ページ: 20.5.1-20.5.4  発行年: 2017年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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本論文では,5nm技術ノード以降のSRAMスケーリングを論じ,FinFETとゲート全周(GAA)技術による基本的なスケーリング限界を明らかにした。42nm以下の期待されるゲートピッチスケーリング減速を補償するために,いくつかのスケールブースタは,細胞の高さを低減するために必要である。しかし,FinFETとGAA技術で達成できる限られたスケーリング利点。分岐ゲート構造を用いて作製した垂直に積層した横方向ナノシート構造はFinFETとGAAデバイスと比較して優れた性能と面積スケーリングを提案した。さらに,限られた追加処理複雑性を達成できた。フォークアーキテクチャはイソパフォーマンスで20%SRAM面積スケーリングと5nm技術ノード以降のFinFETと比較してイソ面積で30%の性能増加を可能にする。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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分類 (2件):
分類
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半導体集積回路  ,  トランジスタ 
タイトルに関連する用語 (4件):
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