自己修復型金属配線と伸縮デバイス応用

古志知也; 岩瀬英治

文献

J-GLOBAL ID：201802280606087084 整理番号：18A0000929

自己修復型金属配線と伸縮デバイス応用

Self-healing metal wire and its stretchable device application.

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資料名：
巻： 86 号： 12 ページ： 1061-1064 発行年： 2017年12月10日
JST資料番号： F0252A ISSN： 0369-8009 CODEN： OYBSA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

近年,伸縮可能な電子デバイスの研究が盛んに行われており,重要な要素の1つとして高伸縮性と高導電性を有する電気配線が求められている。これまでの研究は材料や形状を工夫するアプローチが多いが,我々は導電性のよい金属の電気配線を用いてそこに自己修復という機能を付与するというアプローチで研究を行っている。具体的には,配線の断線により断線部にのみ生じた電界が金属ナノ粒子に及ぼす誘電泳動力により,断線部を金属ナノ粒子によって架橋し,断線を修復するという手法である。本稿では,自己修復型金属配線の原理から,自己修復型金属配線を用いた伸縮デバイス応用まで紹介する。(著者抄録)

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固体デバイス製造技術一般

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