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J-GLOBAL ID：201802280968433060   整理番号：18A1199945

分離カソードによるフィルタ真空アーク蒸着を用いた複合Ti-Al-N被覆の形成【JST・京大機械翻訳】

The Formation of Composite Ti-Al-N Coatings Using Filtered Vacuum Arc Deposition with Separate Cathodes

著者 (8件)： Shulepov Ivan A. (Department of General Physics, National Research Tomsk Polytechnic University, Tomsk 634050, Russia) ,  Kashkarov Egor B. (Department of General Physics, National Research Tomsk Polytechnic University, Tomsk 634050, Russia) ,  Stepanov Igor B. (Department of General Physics, National Research Tomsk Polytechnic University, Tomsk 634050, Russia) ,  Syrtanov Maxim S. (Department of General Physics, National Research Tomsk Polytechnic University, Tomsk 634050, Russia) ,  Sutygina Alina N. (Department of General Physics, National Research Tomsk Polytechnic University, Tomsk 634050, Russia) ,  Shanenkov Ivan (Department of General Physics, National Research Tomsk Polytechnic University, Tomsk 634050, Russia) ,  Obrosov Aleksei (Physical Metallurgy and Materials Technology, Brandenburg Technical University, 03046 Cottbus, Germany) ,  Weiss Sabine (Physical Metallurgy and Materials Technology, Brandenburg Technical University, 03046 Cottbus, Germany)
資料名： Metals (Web)  (Metals (Web))
巻： 7  号： 11  ページ： 497  発行年： 2017年 
JST資料番号： U7244A  ISSN： 2075-4701  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Ti-Al-N被覆を,アルミニウムとチタン陰極の蒸発の間,フィルター真空アーク蒸着(FVAD)によって,高速鋼基板上に蒸着した。Ti-Al-N被覆の元素分布,相組成および機械的性質をAuger電子分光法(AES),X線回折(XRD),透過型電子顕微鏡(TEM)およびナノインデンテーションを用いて調べた。さらに,被覆のトライボロジー試験と引かき試験を行った。被覆の化学量論は,アルミニウムアーク電流を70Aから90Aに増加させると,Ti0.6Al0.4NからTi0.48Al0.52Nへ変化した。XRDとTEMによると,試料の法線に対して(220)方向に結晶子の優先配向を有する面心立方Ti-Al-N相のみを示し,被覆内のAlNまたは金属間化合物の析出物はなかった。TiN格子へのAlの取り込みは,Al含有量の増加に伴い,(220)反射のより高い2θ角へのシフトを引き起こした。マイクロ液滴の低い含有量とサイズを,同軸プラズマフィルタを用いて得て,それはこの被覆の良好な機械的およびトライボロジー特性を提供した。微小硬さ(36GPa)の最も高い値と最良の耐摩耗性は,より高いAl含有量の被覆に対して達成され,Ti0.48Al0.52Nに対して達成された。これらの被覆は引かき試験において30N荷重まで良好な接着特性を示した。Copyright 2018 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 相組成 ,  *被覆 ,  X線回折 ,  引かき試験 ,  *カソード ,  ナノインデンテーション ,  高速度鋼 ,  *真空アーク ,  微小硬さ ,  アルミニウム ,  *フィルタ ,  チタン ,  トライボロジー ,  耐摩耗性
準シソーラス用語： 窒化チタン , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (7件)： フィルタ付き真空アーク ,  堆積 ,  TiAlN ,  分離カソード ,  相組成 ,  硬さ ,  耐摩耗性

分類 (2件)： 金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

引用文献 (48件)：

• Zhitomirsky, V.N.; Grimberg, I.; Rapoport, L.; Travitzky, N.A.; Goldsmith, S.; Weiss, B.Z. Bias voltage and incidence angle effects on the structure and properties of vacuum arc deposited TiN coatings. Surf. Coat. Technol. 2000, 133-134, 114-120.
• Tonshoff, K.; Mohlfeld, A.; Leyendecker, T.; Fu, H.G.; Erkens, G.; Wenke, R.; Cselle, T.; Schwenck, M. Wear mechanisms of (Ti1-x,Alx)N coatings in dry drilling. Surf. Coat. Technol. 1997, 94-95, 603-609.
• Donohue, L.A.; Smith, I.J.; Munz, W.-D.; Petrov, I.; Greene, J.E. Microstructure and oxidation-resistance of Ti1-x-y-zAlxCryYzN layers grown by combined steered-arc/unbalanced-magnetron-sputter deposition. Surf. Coat. Technol. 1997, 94-95, 226-231.
• PalDey, S.; Deevi, S.C. Single layer and multilayer wear resistant coatings of (Ti, Al) N: A review. Mater. Sci. Eng. 2003, 342, 58-79.
• Mayrhofer, P.H.; Hörling, A.; Karlsson, L.; Sjölén, J.; Larsson, T.; Mitterer, C. Self-organized nanostructures in the Ti-Al-N system. Appl. Phys. Lett. 2003, 83, 2049-2051.

タイトルに関連する用語 (4件)： カソード ,  真空アーク蒸着 ,  Ti ,  Al