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J-GLOBAL ID:201802281021274513   整理番号:18A0392731

TEM対物レンズ非点収差の実時間検出と単一パス最小化【Powered by NICT】

Real-time detection and single-pass minimization of TEM objective lens astigmatism
著者 (3件):
資料名:
巻: 197  号:ページ: 210-219  発行年: 2017年 
JST資料番号: W0838A  ISSN: 1047-8477  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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対物レンズの非点収差の最小化を高分解能TEM画像化にとって本質的である毎日の臨界装置アラインメントタスクである。非点収差の迅速かつ高感度検出を実時間フィードバックを提供し,非点収差を効率的に低減するスチグメータ調整が必要である。現在多くの顕微鏡により使用される方法は,視覚的回折(Thon環)の真円度を調べ,反復スチグメータはThon環は円形に調整することである。主観的方法は低い感度により制限され,ヒトの眼の非点収差によりバイアスされた可能性がある。本研究では,S~2stigmator,s~2パワースペクトルに基づく方法をTEM生画像における乱視の迅速で高感度な検出を可能にするために開発した。「レーダ」式ディスプレイは対物レンズスチグメータの調整をガイドするための実時間フィードバックを提供する。このようなユニークな能力は,非点収差振幅と角度,対物レンズ非点収差の可なり速い最小化できる単一光路調整戦略を開発した二スチグメータのマッピングを発見することができた。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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分類 (4件):
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顕微鏡法  ,  光学顕微鏡,望遠鏡  ,  電子顕微鏡,イオン顕微鏡  ,  光学器械要素とその材料 

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