文献

J-GLOBAL ID：201802281031349567   整理番号：18A0726310

バイオセンサ応用のためのCMOS回路と流体ネットワークのスケーラブルなハイブリッド集積【JST・京大機械翻訳】

Scalable hybrid integration of CMOS circuits and fluidic networks for biosensor applications

著者 (7件)： Lindsay McKay (School of Electrical Engineering and Computer Science, Oregon State University, Corvallis, OR, USA) ,  Sengupta Shaan (School of Electrical Engineering and Computer Science, Oregon State University, Corvallis, OR, USA) ,  Bishop Kevin (School of Electrical Engineering and Computer Science, Oregon State University, Corvallis, OR, USA) ,  Co Megan (School of Mechanical, Industrial and Manufacturing Engineering, Oregon State University, Corvallis, OR, USA) ,  Chen Chien-Hua (HP, Inc., Corvallis, OR, USA) ,  Cumbie Michael (HP, Inc., Corvallis, OR, USA) ,  Johnston Matthew L. (School of Electrical Engineering and Computer Science, Oregon State University, Corvallis, OR, USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： BioCAS  ページ： 1-4  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： CMOSベースの光学的および電気的センサは,小型,低コスト形状因子において高感度で高密度なスケーラビリティを提供する,ラボオンチップ応用に対して魅力的である。しかしながら,チップ表面への流体試料の制御された送達は,実験室-オン-CMOS開発のための困難な障害のままである。本論文では,市販のファンアウトウエハレベルパッケージング(FOWLP)製造アプローチを用いて,流体チャネルとシリコン集積回路(IC)基板のスケーラブルな統合のための方法を提示した。圧縮成形したエポキシウエハにおけるICの平面,ほぼシームレスな埋め込みの後に,平面電気接点を定義するために標準的な半導体処理法を使用し,多層レーザ切断マイクロフルイディクスを用いてIC表面上のチャネルを定義した。完成したデバイスにおいて,電気的および流体的経路選定の両方をカスタムCMOS光センサICに提供し,光伝送実験により,ラボ-オン-CMOSおよびラボオンチップ応用に対する結合接続性および一般化可能なプラットフォームの有用性を実証した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *CMOS ,  *バイオセンサ ,  *ネットワーク ,  光センサ ,  高感度 ,  チャネル ,  マイクロフルイディクス ,  経路選定 ,  フルイディクス ,  多層 ,  半導体 ,  集積回路 ,  ケイ素 ,  電気接点
準シソーラス用語： ラボオンチップ ,  *CMOS集積回路 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  生物物理的研究法  (EA03020V)

タイトルに関連する用語 (5件)： バイオセンサ ,  応用 ,  CMOS回路 ,  流体 ,  集積