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J-GLOBAL ID:201802281697227395   整理番号:18A0488772

CoFeB-MgO系磁気トンネル接合の~59Co NMR解析【Powered by NICT】

59Co NMR analysis of CoFeB-MgO based magnetic tunnel junctions
著者 (5件):
資料名:
巻: 741  ページ: 775-780  発行年: 2018年 
JST資料番号: D0083A  ISSN: 0925-8388  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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~59Co核磁気共鳴(NMR)およびX線回折(XRD)は擬スピンバルブ(P SV)における強磁性CoFeB層の結晶学的構造と磁気的性質:Ta/CoFeB/MgO/CoFeBおよび交換バイアススピンバルブ(EB SV)中でのアニーリング効果を調べた:PtMn/CoFe/Ru/CoFeB/MgO/CoFeB磁気トンネル接合。P-SVおよびEBSVの蒸着したままのCoFeB層は非晶質であることが分かった。340°Cと360°Cでのアニーリング処理は,B2秩序の異なる程度を示すbcc CoFe領域の領域に,より高いB含有量をもつ非晶質磁性注意喚起領域にCoFeB層の漸進的相分離を調べたすべての系を誘導する。Ru(EB SV)およびTa(P SV)上に成長させ,上部界面におけるMgOで被覆されたCoFeB層では,500°Cでのアニーリング後にB2規則bcc CoFe相への実質的に完全な相偏析の状態が観察された。MgO上に成長させたとP-SVおよびEBSVにおけるRuによって被覆されたCoFeB層の500°Cでのアニーリングは広範な熱拡散を誘発し,CoFeBを形質転換する非磁性層にCoFeB/Ru界面における混合を誘導した。さらに,Ru層よりもTa上に堆積するとCoFeBはbcc CoFe(100)集合組織へのより良い結晶化することが分かった。XRDプロファイルはRu上で成育するCoFeB層が,bcc CoFe(110)配向集合組織に結晶化し,500°CでアニールしたときTa上に成長させた,bcc CoFe(200)に結晶化することを示した。~59Co NMR復元場解析(H_rest-磁気剛性)は反強磁性PtMn層EBSV系への挿入はCoFeB層の磁気硬度を増加する大きさの順であることを示した。EBSVにおけるPtMn/CoFe/RuとCoFeB層の間のCoFeB/MgO層を添加CoFeBを分離する,磁気的にソフトに硬磁性系。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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分類 (2件):
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金属の結晶構造  ,  金属薄膜 
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