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J-GLOBAL ID：201802281719801980   整理番号：18A1870849

少量のITO粒界相を用いた透明性の損失のない絶縁性Al_2O_3電気伝導性の作製【JST・京大機械翻訳】

Making insulating Al₂O₃ electrically conductive without loss of translucency using a small amount of ITO grain boundary phase

著者 (3件)： Kusunose Takafumi (Department of Advanced Materials Science, Faculty of Engineering, Kagawa University, Hayashi-cho 2217-20, Takamatsu 761-0396, Japan) ,  Fujita Asuka (Department of Advanced Materials Science, Faculty of Engineering, Kagawa University, Hayashi-cho 2217-20, Takamatsu 761-0396, Japan) ,  Sekino Tohru (Institute of Scientific and Industrial Research (ISIR), Osaka University, Mihogaoka 8-1, Ibaraki, Osaka 567-0047, Japan)
資料名： Scripta Materialia  (Scripta Materialia)
巻： 159  ページ： 24-27  発行年： 2019年 
JST資料番号： B0915A  ISSN： 1359-6462  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 絶縁性Al_2O_3部品を半導体製造装置に用いると,Al_2O_3の電気伝導率は10~16S/cmから10~5と10~0S/cmの範囲に改善しなければならない。Al_2O_3セラミックの利点を残すために,空気雰囲気中で焼結することによって少量の伝導相を用いて電気伝導率を制御することが必要である。本研究において,Al_2O_3セラミックの電気伝導率は,焼結Al_2O_3多結晶の半透明の明白な劣化なしに,少量の酸化インジウムスズ(ITO)結晶粒界相を析出させることによって,10~16から10~1S/cmまで首尾よく増加した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 電気伝導率 ,  酸化インジウムスズ ,  焼結 ,  *導電性 ,  結晶粒界 ,  多結晶
準シソーラス用語： 半透明 ,  半導体製造装置 ,  *透明性 ,  *粒界相 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： アルミナ ,  酸化インジウムすず ,  粒界相 ,  電気伝導率 ,  半透明

分類 (2件)： セラミック・磁器の性質  (YC03030G) ,  セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V)

タイトルに関連する用語 (7件)： ITO ,  粒界相 ,  透明性 ,  損失 ,  絶縁性 ,  電気伝導性 ,  作製